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優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置-DLCコーティング装置
優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置-ジャパンクリエイト株式会社

優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置
ジャパンクリエイト株式会社

💻 電子・電気機器業界用 🧪 化学業界用

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この製品について

■特徴

・成膜源はRFプラズマCVD法とイオン化蒸着法から選択可能 ・基板加熱源は水冷型と加熱型から選択可能 ・優れた膜厚分布および再現性を実現 ・様々な基板材質に成膜可能 ・広範な膜特性の制御可能 ・豊富な蓄積データ ・トレイ搬送にも対応可能

■用途

・半導体 ・電子部品 ・光学部品 ・車載部品 ・医療部品

  • シリーズ

    優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / 化学業界用

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年12月9日にレビュー済み

顧客対応への満足度

回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。

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優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ 成膜ガス セルフクリーニングガス 基板加熱温度 真空排気 圧力制御 制御操作 データロギング 基板搬送 オプション
優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置-品番-DLCコーティング装置

DLCコーティング装置

要見積もり

丸 最大φ12インチ
角 最大310mm×375mm

DLC:液体・気体ソース
フッ化DLC:液体ソース

O2、Ar、他

最高300℃ (基板表面)

低真空プロセス:MBP+DP
高真空プロセス:TMP+DP

APC制御

制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC

外部メモリまたはPC

真空搬送ロボット

300℃以上の高温プロセス、発光分析システム、排ガス処理装置、ガス検知器、シリンダーキャビネット など

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

5.0

会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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