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返答率
100.0%
返答時間
366.4時間
シリーズ
優れた膜厚分布および再現性を実現 DLCコーティング装置取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社カテゴリ
利用シーン
電子・電気機器業界用 / 化学業界用もっと見る
コーティング装置の製品49点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | 成膜ガス | セルフクリーニングガス | 基板加熱温度 | 真空排気 | 圧力制御 | 制御操作 | データロギング | 基板搬送 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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DLCコーティング装置 |
要見積もり |
丸 最大φ12インチ |
DLC：液体・気体ソース |
O2、Ar、他 |
最高300℃ (基板表面) |
低真空プロセス：MBP+DP |
APC制御 |
制御：PLC |
外部メモリまたはPC |
真空搬送ロボット |
300℃以上の高温プロセス、発光分析システム、排ガス処理装置、ガス検知器、シリンダーキャビネット など |
