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マスクレス露光装置 ミニマル マスクレス露光装置取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 | 基板搬送 | 露光方式 | 光源 | 焦点合わせアライメント | 重ね合わせ精度 | 露光分解能 | データ分解能 | 本体寸法 | 重量 | ユーティリティ | 消費電力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ミニマル マスクレス露光装置 |
要見積もり |
0.5インチ ミニマルウェハ |
ミニマルシャトル ＆ 搬送システム (PLAD) |
スキャン露光方式 |
LED (光源波長：λ=385nm) |
全自動 |
±0.5µm以内 |
1.0µm (1:1 L/S) |
標準露光時：0.5µm/pix、ファイン露光時：0.05µm/pix (x10) , 0.10µm/pix (x5) ,0.125µm/pix (x4) , 0.25µm/pix (x5) |
W294 × D450 × H1,440mm |
約150kg |
AC100V (5A) 圧縮空気 0.45~0.8MPa |
300W |
