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高い測定再現性を実現 超小型エリプソメータ MACO-101取扱企業
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エリプソメーターの製品44点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定方式 | 光源 | ビーム径 | 偏光素子 | 位相板 | 測定精度 | 入射角 | 測定時間 | サンプルステージ | 測定可能サンプル | ソフトウェア | PC | 寸法 | タイプ | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MACO-101 |
要見積もり | 回転位相子法 | 半導体レーザー (635nm標準) | φ1mm | グラントムソンプリズム | 1/4λ |
Δ；±0.03度Ψ；±0.03度 (但し、SiO2 (100nm) /Si測定時) |
70°固定 | Min0.05秒 (通常2秒) | φ50 | φ55以下厚み10t以下 | 研究用・工業用を選択 | IBM-PCまたは互換機 | 220W×125D×115Hmm 3kg | - | |
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MACO-101H |
要見積もり | 回転位相子法 | ヘネレーザー (632.8nm) | φ0.8mm | グラントムソンプリズム | 1/4λ |
Δ=±0.01° ψ=±0.01° (但し、SiO2 (1,000nm) /Si測定時) |
70°固定 | Min0.05秒 (通常2秒) | φ50 | - | 研究用・工業用を選択 | IBM-PCまたは互換機 | - | ヘネレーザータイプ |
