高い測定再現性を実現 超小型エリプソメータ MACO-101
ファイブラボ株式会社
この製品について
■タイプ
指定半導体レーザー・裏面除去機能■超小型･軽量
出来得る限り小型軽量に設計してあります。設置スペースを小さく出来る他、移設の際にも便利です。■再現性
弊社独自の光学素子の採用により、高い測定再現性を実現しています。■角度調整
小さいながらも上部にオートコリメーターを装備していますので、傾いたサンプルも測定可能です。■解析力
付属する測定解析プログラムは、弊社ベストセラー機MARYのプログラムをそのまま使用できますので、多種の解析が可能です。-
シリーズ
高い測定再現性を実現 超小型エリプソメータ MACO-101
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取扱企業
ファイブラボ株式会社
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カテゴリ
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高い測定再現性を実現 超小型エリプソメータ MACO-101 品番2件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定方式 | 光源 | ビーム径 | 偏光素子 | 位相板 | 測定精度 | 入射角 | 測定時間 | サンプルステージ | 測定可能サンプル | ソフトウェア | PC | 寸法 | タイプ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MACO-101 |
要見積もり | 回転位相子法 | 半導体レーザー (635nm標準) | φ1mm | グラントムソンプリズム | 1/4λ |
Δ；±0.03度Ψ；±0.03度 (但し、SiO2 (100nm) /Si測定時) |
70°固定 | Min0.05秒 (通常2秒) | φ50 | φ55以下厚み10t以下 | 研究用・工業用を選択 | IBM-PCまたは互換機 | 220W×125D×115Hmm 3kg | - | |
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MACO-101H |
要見積もり | 回転位相子法 | ヘネレーザー (632.8nm) | φ0.8mm | グラントムソンプリズム | 1/4λ |
Δ=±0.01° ψ=±0.01° (但し、SiO2 (1,000nm) /Si測定時) |
70°固定 | Min0.05秒 (通常2秒) | φ50 | - | 研究用・工業用を選択 | IBM-PCまたは互換機 | - | ヘネレーザータイプ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
