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ガラス基板対応3D計測装置 NSAT Series 3D Head取扱企業
ニデックアドバンステクノロジー株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | パネルサイズ | スキャンスピード | スキャンレンジ | 解像度 | 繰り返し精度 | 照明 | F.O.V.Turret |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
3D Head |
要見積もり |
Max.510mm×610mm |
Max.65um/s |
≤270um |
WSI<0.5nm,PSI<0.1nm,FastCSI<1.5nm |
≤0.1%@1σ (VLSI7.969um±0.065,Repeat16times) |
White LED Illumination |
×0.55,×0.75,×1.0,×1.5,×2.0 (4FOVLensAvailable) |