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ロボットハンド開発 ウェハ搬送 SCタイプ-SCタイプ FORK 薄型タイプ
ロボットハンド開発 ウェハ搬送 SCタイプ-株式会社ハーモテック

ロボットハンド開発 ウェハ搬送 SCタイプ
株式会社ハーモテック



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この製品について

■ウェハの外周をサポート

吸着ハンドと違いウェハ表面に対し非接触でハンドリングが可能なため、パーティクル転写問題等の根本的な問題対策となります。

■適用ウェハ例

反りが無いフラットなウェハ。

■FORK 薄型タイプ

・ロボット用エンドエフェクターとして使用可能 ・ウェハカセットへのアクセスが可能 ・ウェハへのパーティクル転写の解消 ・ウェハ表面へのローディングアクセスが可能 ・静電気帯及び剥離帯電の解消 ・搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減

■CIRCLE 広面積保持タイプ

・ロボット用エンドエフェクターとして使用可能 ・チャックステージとして使用可能 ・極薄ウェハへのストレスフリー ・極薄ウェハ搬送時のワレ・クラック解消 ・コインスタック式搬送ケースへの対応可能 ・ウェハへのパーティクル転写の解消 ・ウェハ表面へのローディングアクセスが可能 ・静電気帯及び剥離帯電の解消 ・搬送中にセンタリングを行い装置タクトタイムの低減

■HOLDER マニュアルピンセットタイプ

・極薄ウェハハンドリング用手動ピンセット ・ウェハへのストレスフリー ・小径から大口径まで対応 ・ウェハカセットへのアクセス対応

  • シリーズ

    ロボットハンド開発 ウェハ搬送 SCタイプ

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ロボットハンド開発 ウェハ搬送 SCタイプ 品番1件

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ロボットハンド開発 ウェハ搬送 SCタイプ-品番-SCタイプ FORK 薄型タイプ

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社ハーモテックは、1983年に有限会社アポロエンジニアリングとして設立され、1987年に株式会社に組織変更を行い、現在の社名となっています。 本社および本社工場は、2013年より山梨県甲府市に置かれています。 半...

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  • 本社所在地: 山梨県
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