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プラズマ製品 多段平行平板式 減圧プラズマ装置-多段平行平板式 減圧プラズマ装置
プラズマ製品 多段平行平板式 減圧プラズマ装置-株式会社電子技研

プラズマ製品 多段平行平板式 減圧プラズマ装置
株式会社電子技研

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この製品について

■概要

処理室に電極/ステージを複数設置することにより、ガラス基板、プリント基板等をバッチ処理可能なプラズマ処理装置を開発しました。また本機は、高周波電源・マッチング制御機器、メインバルブ、真空ポンプ、チラーを各1台で、プラズマ処理を行うこととが可能に。フットプリントも低減。表面改質、クリーニング、焼結他、ラフなアッシング、デスミヤ処理を目的として開発されたバッチ式プラズマ処理装置です。

■特徴

・中型基板・フィルムなどの処理に対応。 ・高周波電源、ポンプ等の真空系機器、チラー他、周辺機器を必要最低限に抑えることにより低コストを実現 ・主構成：チャンバ 1ch (ステージ/電極 2～4SET) ・高周波電源/マッチングユニット 1SET ・メインバルブ 1SET ・ドライ真空ポンプ 1SET ・チラー 1SET ・ガス制御ユニット 1SET、制御盤 1SET ・処理ステージ多段構成による小フットプリント ・RIEモードによる表面改質、焼結、デスミヤ他、多彩なプロセス用途。 (PEモードは別途ご相談ください)

■応用事例

・レジストアッシング ・デスミヤ/デスカム処理 ・有機物除去 ・低温焼結 ・各種官能基修飾 表面改質処理 (親水化/撥水化/接着性向上/還元) ・フッ素樹脂他、各種基板のめっき前処理 ・フッ素樹脂他、各種基板の接着剤レス接合前処理

  • シリーズ

    プラズマ製品 多段平行平板式 減圧プラズマ装置

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会社概要

株式会社電子技研は1999年に設立し、主にプラズマ処理技術の開発、関連装置の製造、販売を行う会社です。 プラズマは、分子原子が電離・中性ラジカルとなっている状態で、高い反応性を持つことから、物質の表面処理、洗浄、焼結な...

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  • 本社所在地: 大阪府

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