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プラズマ製品 バレルタイプ 減圧プラズマ処理装置 PB Series-PB Series
プラズマ製品 バレルタイプ 減圧プラズマ処理装置 PB Series-株式会社電子技研

プラズマ製品 バレルタイプ 減圧プラズマ処理装置 PB Series
株式会社電子技研

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この製品について

■概要

低価格バッチ処理プラズマ処理装置です。等方性プラズマのため処理サンプルを全方向から処理可能です。50枚までの半導体ウエハ上のレジストアッシング，電子部品の一括クリーニングの他、各種材料の親水化／撥水化など、表面改質等に活用されています。

■特徴

・等方性プラズマにより、対象物の形状を問わず処理が出来ます。 ・処理室サイズやRF出力仕様は用途に合わせてカスタマイズ致します。 ・タッチパネル操作。AUTO/MANUALモード切替。 ・小フットプリント。 ・オプションのアルミトンネル設置による低ダメージ化。

■応用事例

・レジストアッシング / 絶縁膜エッチング ・バンプ前処理 / UBMメッキ前処理 / リードフレーム洗浄 ・ナノカーボン粒子・金属・樹脂・他への表面改質 (親水化 / 撥水化 / 還元) ・多孔質人工骨の親和性向上 ・精密金型洗浄 / 有機物除去 ・滅菌処理

  • シリーズ

    プラズマ製品 バレルタイプ 減圧プラズマ処理装置 PB Series

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株式会社電子技研

会社概要

株式会社電子技研は1999年に設立し、主にプラズマ処理技術の開発、関連装置の製造、販売を行う会社です。 プラズマは、分子原子が電離・中性ラジカルとなっている状態で、高い反応性を持つことから、物質の表面処理、洗浄、焼結な...

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