プラズマ製品バレルタイプ減圧プラズマ処理装置 PB Series-PB Series

プラズマ製品バレルタイプ減圧プラズマ処理装置 PB Series
株式会社電子技研

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この製品について

■概要低価格バッチ処理プラズマ処理装置です。等方性プラズマのため処理サンプルを全方向から処理可能です。50枚までの半導体ウエハ上のレジストアッシング，電子部品の一括クリーニングの他、各種材料の親水化／撥水化など、表面改質等に活用されています。

■特徴・等方性プラズマにより、対象物の形状を問わず処理が出来ます。
・処理室サイズやRF出力仕様は用途に合わせてカスタマイズ致します。
・タッチパネル操作。AUTO/MANUALモード切替。
・小フットプリント。
・オプションのアルミトンネル設置による低ダメージ化。

■応用事例・レジストアッシング / 絶縁膜エッチング
・バンプ前処理 / UBMメッキ前処理 / リードフレーム洗浄
・ナノカーボン粒子・金属・樹脂・他への表面改質 (親水化 / 撥水化 / 還元) 
・多孔質人工骨の親和性向上
・精密金型洗浄 / 有機物除去
・滅菌処理