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分光エリプソメーターSE-2000 (回転補償子型)取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定方式 | 波長範囲 | 検出器チャンネル数 | 光源 | 測定時間 | スポット径 | ΨΔ測定レンジ | 入射角度 | 膜厚測定範囲 | サンプルシリーズ | サンプルステージ | その他 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SE-2000 |
要見積もり |
回転補償子型 |
193mm~2500mm (アプリケーションにより、必要な波長範囲を選択可能) |
可視光領域CCD波長方向1,024ピクセル、近赤外領域512ピクセル |
75Wキセノンランプ |
1ポイントあたり、数秒 |
数十μm ~ 数mm (選択可能) |
Ψ = 0~90°, Δ = 0~360° (フルレンジ) |
25°~90° (自動可変) |
1Å ~ 数十μm |
1インチ ~ 300mm |
アプリケーションによりマッピングステージなど各種ステージを選択可能 |
CCD検出器に加えて、オプションで、PMT (光電子増倍管) 検出器も搭載可能 |