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シリーズ
分光エリプソメーターSE-2000 (回転補償子型)取扱企業
日本セミラボ株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定方式 | 波長範囲 | 検出器チャンネル数 | 光源 | 測定時間 | スポット径 | ΨΔ測定レンジ | 入射角度 | 膜厚測定範囲 | サンプルシリーズ | サンプルステージ | その他 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SE-2000 |
要見積もり |
回転補償子型 |
193mm~2500mm (アプリケーションにより、必要な波長範囲を選択可能) |
可視光領域CCD波長方向1,024ピクセル、近赤外領域512ピクセル |
75Wキセノンランプ |
1ポイントあたり、数秒 |
数十μm ~ 数mm (選択可能) |
Ψ = 0~90°, Δ = 0~360° (フルレンジ) |
25°~90° (自動可変) |
1Å ~ 数十μm |
1インチ ~ 300mm |
アプリケーションによりマッピングステージなど各種ステージを選択可能 |
CCD検出器に加えて、オプションで、PMT (光電子増倍管) 検出器も搭載可能 |
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使用用途
#半導体膜評価 #ディスプレイ膜評価 #光学コーティング評価 #太陽電池研究 #高分子解析測定方式
スペクトル型 回転子型 イメージング型光源波長
単色型 可視型 紫外型 赤外型 広帯域型構造特性
卓上型 大型装置組込型 ポータブル型 真空対応型機能特性
高速測定型 高精度型 マルチスポット型 オートアライメント型膜厚範囲 nm
0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000入射角度 °
20 - 40 40 - 60 60 - 80 80 - 100スポット径 mm
0 - 1 1 - 5 5 - 10サンプルステージ mm
100 - 150 150 - 210光源
ヘリウムネオンレーザー キセノンランプ 半導体レーザー測定時間 ms
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000
