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分光エリプソメーターSE-2000 (回転補償子型) -SE-2000
分光エリプソメーターSE-2000 (回転補償子型) -日本セミラボ株式会社

分光エリプソメーターSE-2000 (回転補償子型)
日本セミラボ株式会社



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この製品について

■分光エリプソメーターSE-2000とは

エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000は、弊社ベストセラーである分光エリプソメーター旧モデルで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、従来機以上の測定精度・操作性・安定性を実現しました。 回転補償子型による測定精度の向上に加え、使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースにより研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用いただいています。

■回転補償子型分光エリプソメーター

エリプソメーターには様々な測定方式が存在していますが、分光エリプソメーターSE-2000では、高精度測定のため最新の回転補償子型を採用しています。 補償子を使用していない様々な測定方式では、測定データΔ=0付近で避けることが出来ない測定誤差が生じてしまうために結果として正しくない解析結果を導いてしまうことが起こりえますが、回転補償子型では、Δ=0付近も高精度で測定が可能なため、正確な解析結果が得られます。このため、ユーザーは測定方式による誤差要因を心配することなく、安心して装置をご使用頂けます

■深紫外から中赤外のスペクトル範囲をカバー

分光エリプソメーターSE-2000では、オプションのFTIRエリプソメーターヘッドを可視アーム付属の同じゴニオメーターに搭載する独自レイアウトにより、単一装置で深紫外から中赤外までの最も広いスペクトル範囲をカバーできます。

■高速測定モードと高分解能モード

装置構成としては、高速測定モードと高分解能モード、また両方のモードを同じ装置で選択して頂くことも可能です。

■最新の解析ソフトウェア

分光エリプソメーターSE-2000には、新型高性能電子機器が搭載されており、新世代の動作・分析ソフトウェアで動作します。最新の解析専用ソフトウェアでは、豊富なNK値と光学モデルのデータベースが搭載されていることに加えて、最新のGUIにより視覚的にパラメーター初期値の最適化が可能になり、複数の光学モデルを組み合わせることで困難な解析にもアプローチが可能になりました。

  • シリーズ

    分光エリプソメーターSE-2000 (回転補償子型)

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分光エリプソメーターSE-2000 (回転補償子型) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定方式 波長範囲 検出器チャンネル数 光源 測定時間 スポット径 ΨΔ測定レンジ 入射角度 膜厚測定範囲 サンプルシリーズ サンプルステージ その他
分光エリプソメーターSE-2000 (回転補償子型) -品番-SE-2000

SE-2000

要見積もり

回転補償子型

193mm~2500mm (アプリケーションにより、必要な波長範囲を選択可能)

可視光領域CCD波長方向1,024ピクセル、近赤外領域512ピクセル

75Wキセノンランプ

1ポイントあたり、数秒

数十μm ~ 数mm (選択可能)

Ψ = 0~90°, Δ = 0~360° (フルレンジ)

25°~90° (自動可変)

1Å ~ 数十μm

1インチ ~ 300mm

アプリケーションによりマッピングステージなど各種ステージを選択可能

CCD検出器に加えて、オプションで、PMT (光電子増倍管) 検出器も搭載可能

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本セミラボ株式会社は、検査装置メーカーです。 製造された半導体の性能や特性を検査するための装置である半導体検査装置や、液晶ディスプレイの光反射率、光伝導率などを検査するためのディスプレイ用検査装置など検査装置の販売を...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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