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差動排気ポンプシステムを組合せ プロセスモニタリングシステム取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | マスレンジ | ダイナミックレンジ | 測定圧力レンジ | フローレート | レスポンスタイム | ソフトウェア | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
PPR100 |
要見積もり |
100amu |
6 桁 (シングルスキャン) |
10mTorr~10Torr |
3×10-5 Torr-L/s |
2sec. |
RGAシリーズと共通 |
||
PPR200 |
要見積もり |
200amu |
6 桁 (シングルスキャン) |
10mTorr~10Torr |
3×10-5 Torr-L/s |
2sec. |
RGAシリーズと共通 |
||
PPR300 |
要見積もり |
300amu |
6 桁 (シングルスキャン) |
10mTorr~10Torr |
3×10-5 Torr-L/s |
2sec. |
RGAシリーズと共通 |