JIB-PS500i FIB-SEMシステム FIB-JIB-PS500i FIB

JIB-PS500i FIB-SEMシステム FIB
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この製品について

◾️ 新しい試料作製ソリューション
JIB-PS500iは、TEM試料作製をアシストする3つのソリューションを提供します。試料作製からTEM観察まで、確実かつ高スループットなワークフローで作業することができます。

◾️特長
・TEM-LINKAGE
二軸傾斜カートリッジとTEM ホルダーによりTEM ⇔ FIBのリンクを容易にします。カートリッジは専用のTEM 試料ホルダーにワンタッチで装着できます。
・CHECK-AND-GO
TEM 試料を確実に作製するためには、作製した試料をその場でチェックできることが重要です。JIB-PS500i では、TEM 試料作製からシームレスにSTEM観察に移行できます。薄片加工⇔STEM観察の繰り返しにより、納得のいく試料作製が行えます。
・AUTOMATIC PREPARATION
自動TEM試料作製システムSTEMPLING2により、TEM試料作製を自動化します。自動で試料作製を行うので、オペレータースキルによる品質のばらつきがありません。

◾️ HIGH-POWER & HIGH-QUALITY FIB Processing最良な試料作製のために よりパワーアップしたFIB加工
・Large-area, Fast FIB processing
最大電流100 nAのGaイオンビーム照射ができるFIBカラムを採用しています。大電流での加工は、特に大領域の観察・分析に必要な試料作製に威力を発揮します。
・Damage-layer removal by low-kV processing
従来機よりも短いワーキングディスタンスでFIB カラムを配置し、新開発の電源により低加速域の性能が向上しました。新制御系も合わせ、薄膜作製で重要な低加速仕上げ加工を高精度に行えます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
JIB-PS500i FIB-SEMシステム FIB

取扱企業
日本電子株式会社

カテゴリ

観察機器

電子顕微鏡

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JIB-PS500i FIB-SEMシステム FIB 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	像分解能	倍率	加速電圧	ビーム電流	可動絞り	イオン源	加工形状
	JIB-PS500i FIB	要見積もり	3 nm (30 kV 時)	×50 ~ ×300,000 (加速電圧により制限あり)	0.5 ~30 kV	1.0 pA ~100 nA、13段階切り替え (30 kV)	モーター駆動16段切り替え (内、3段は予備)	Ga 液体金属イオン源	矩形、円、多角形、点、線、ビットマップ図形