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8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8-SC-8
8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8-ヒューグルエレクトロニクス株式会社

8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8
ヒューグルエレクトロニクス株式会社

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この製品について

本装置はCRD-4500の後継機として開発され、最大8"ウェハキャリア及びBOXまで対応可能な自動洗浄システムです。洗浄対象は専用トレイにセットされ、各処理チャンバーで効率の良い洗浄/乾燥が行われます。ワイヤトレイの搬送には、パーティクル防止対策がなされてたヒューグル独自の特殊ローラー方式を採用しています。

■製品概要

・多種容器対応可能 ・省スペース/省エネ設計 ・Hugle独自の超精密洗浄 ・完全乾燥を実現する高効率ホットエアーナイフ乾燥 ・多様なオプション対応 ・SEMI S2,S8,CE規格準拠

  • シリーズ

    8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月2日にレビュー済み

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8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置本体
8インチ以下 洗浄装置 カセット・ボックス フルオート洗浄システム SC-8-品番-SC-8

SC-8

要見積もり

2,630 (W) ×1,170 (D) ×1,706 (H) mm (突起物含まず)

フィルターに該当する他製品

半導体洗浄装置の中で同じ条件の製品
装置寸法: 1000 - 1500mm

フィルターから探す

半導体洗浄装置をフィルターから探すことができます

対応サイズ インチ

0 - 4 4 - 8 8 - 12

装置寸法 mm

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500

本体重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 500

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

43.7時間


企業レビュー

5.0

会社概要

ヒューグルエレクトロニクス株式会社は1971年に設立した、半導体関連製品のメーカーです。 容器洗浄装置、非接触に数ミクロンの異物を除去できる超音波ドライクリーナー、非接触で静電気の除電を行えるイオナイザーなどの半導体や...

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  • 本社所在地: 東京都

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