電子冷熱恒温槽 RT-250Z430-GE
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この製品について

半導体製造に行われる蒸着工程では、ミクロン単位での成膜が要求されます。蒸着される拡散ガスの蒸気圧制御では、温度管理も重要な項目となります。弊社の電子冷熱恒温槽は百分台での温度制御を実現しており、蒸着プロセスで多くの実績がございます。その他、理化学分野、製薬分野など繊細な温度制御が必要となる用途に効果を発揮します。

■主な特徴・電子冷熱方式で槽内の液を -10.00〜70.00℃ の範囲で温度制御します。
・高分解能温度指示 0.01℃ (1/100℃) 
・独自液循環方式により、高い温度安定性 (±0.02℃) を実現しました。
・自社開発の高精度温度制御器。
・水槽部と制御部がセパレート。
・各種装置への組込みに適しています。
・通信機能　RS-232C/RS-485　 (オプション) 
・温度設定、運転状態のモニターの他、運転/停止もリモート操作可能です。
・本機を複数台組み込んだCVD装置などで集中操作ができ便利です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
電子冷熱恒温槽 RT-250Z430-GE

取扱企業
チヨダエレクトリック株式会社

カテゴリ

温度制御

恒温槽

温度制御

低温恒温器

温度制御

低温インキュベータ

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電子冷熱恒温槽 RT-250Z430-GE 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	制御方式	モデル	設定温度範囲	温度指示/設定分解能	温度安定性※1	上記条件	通信機能 (オプション)	使用周囲温度	冷却水温度	冷却水流量	電源	使用可能液媒体	各種保護機能	水槽内寸法 (mm)	水槽部外形寸法 (mm)	制御部外形寸法 (mm)
	RT-250Z430-GE	要見積もり	水冷式電子冷熱方式 (ペルチェ方式)	RT-250Z430-GE	-10.00~70.00℃	0.01℃	±0.02℃ ※1　温度分布を含む (実測値であり、保証値ではありません) 。周囲温度、冷却水温度により変動することがあります。	周囲温度　23℃ 周囲湿度　55％RH 冷却水温　25℃ 液媒体　　 GALDEN HT200 ※2 槽内熱負荷無し。 ※2　GALDENR®はソルベイソレクシス社の登録商標です。	RS-232C/RS-485 運転モニター、温度設定の他運転／停止もリモート操作可能です。	5~35℃	18~30℃ (標準：25℃)	2.5~5.0L/min (設定温度により調整可能)	単相　AC200V　4A 50/60Hz	フッ素系媒体不凍液等蒸留水	自己診断機能異常・警報出力 (リレー出力)	Ø250×430H (液面 400H) 有効容積：20.0L	321W×321D×580H (突起部含まず)	260W×362D×147H (突起部含まず)