低温成膜はがれにくい DLCコーティング, DLC装置-DLCコーティング, DLC装置

低温成膜はがれにくい DLCコーティング, DLC装置
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この製品について

プラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤモンドのように硬く、低摩擦の高密着コーティングが可能です。

DLC (ダイヤモンドライクカーボン) コーティングは、プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。

■特徴・複雑形状のワークにも対応可能。ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能
・潤滑性に優れる。低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる
・金属、アルミ以外に樹脂やゴムにも成膜可能。低温での成膜が可能
・母材に追従する柔軟性を持たす成膜が可能 (樹脂でも膜剥がれしにくい) 

■用途・半導体製造部品…耐摩耗性向上、金属コンタミ防止等
・各種パッキン…摺動性、耐久性、耐薬品性の向上
・金型、装置部品、治具など幅広い分野で実績