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被覆層を形成する技術 ガラス状カーボンコート-ガラス状カーボンコート
被覆層を形成する技術 ガラス状カーボンコート-株式会社渡辺商行

被覆層を形成する技術 ガラス状カーボンコート
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この製品について

ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。

■特徴

・黒鉛材料のダスト発生を抑えます。 ・黒鉛材料表面だけでなく内部まで浸透しています。 ・黒鉛材料からのガスの発生を抑えます。 ・黒鉛材料のガス透過を抑えます。 ・黒鉛材料の様々な形状への対応が可能です。 ・金属、ガラスとの反応性を抑えます。

■用途

・半導体製造用治具 ・FPD製造用治具 ・電子部品組立用治具 ・蒸着用ルツボ ・ハーメチックシール用治具 ・高温および真空部品 ・その他の黒鉛加工品

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    被覆層を形成する技術 ガラス状カーボンコート

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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