溶射・洗浄による品質改善表面改質処理加工・治具洗浄
株式会社渡辺商行

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この製品について

治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。

トムコでは、長年の実績を誇る洗浄・再生技術に加え、粉末パウダーを溶融し素材表面にコーティングする表面改質技術である「溶射」の完全内製化を実現しています。

■表面改質処理加工の特長・保護膜などの表面処理を施すことで、母材に最適な表面改質が可能です。
・表面改質処理により、薄膜製造装置内部品のパーティクル低減を実現します。

■治具洗浄の特長・母材へのダメージを最小化する化学洗浄、物理洗浄に加え、クリーンルーム内での超純水洗浄、真空パックにも対応します。
・視認できない汚れや残留物を除去する精密洗浄により、精密機械分野などお客様の生産性の向上をサポートします。
・常に評価品と同等の製品を納品する再現性の高い技術力を提供します。

■特徴・高緻密・高絶縁特性・耐摩耗性・耐食性を実現。治具・部品の素材や形状などに最適化された溶射条件のもとで、高緻密・高絶縁特性・耐摩耗性・耐食性を実現するコーティング技術を提供致します。
・部品や治具などを高品質に再生。自社クリーンルームでの超音波超純水洗浄から、減圧乾燥、真空パッキングまでの一貫した生産・管理体制で、真空チャンバー内に組み込まれている部品や治具などを高品質に再生します。
・超純水洗浄、真空パックにも対応。視認できない汚れや残留物を除去する精密洗浄により、精密機械分野などお客様の生産性の向上をサポートします。
・生産性の向上をサポート。常に評価品と同等の品を納品する再現性の高い技術力を提供します。

■用途・PVD装置治具・部品
・CVD装置治具・部品
・エッチング装置治具・部品等