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セラミックス製品 過酷な条件に耐える 高純度アルミナセラミックス (SAPPHAL🄬) -SAPPHAL🄬
セラミックス製品 過酷な条件に耐える 高純度アルミナセラミックス (SAPPHAL🄬) -株式会社渡辺商行

セラミックス製品 過酷な条件に耐える 高純度アルミナセラミックス (SAPPHAL🄬)
株式会社渡辺商行

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この製品について

F系プラズマ雰囲気下、過酷な条件に耐える強者。 サファイアに近い特性を持った多結晶アルミナです。高純度であると同時に気孔がほとんど無い緻密な焼結体です。また、結晶粒径の揃った均一な組織構造を持つため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐える事が出来ます。

■基本情報

サファイア (アルミナ単結晶) に近い性質を持つ透光性アルミナセラミックスは可視光線のほとんどを拡散透過するためナトリウムランプなどの照明用部材として使用されてきました。クアーズテック社では透光性アルミナセラミックスのもつ純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装置用部材としての新しい用途を開発しました。SAPPHAL🄬は高純度であると同時に、気孔の無い真密度に極めて近い緻密性と結晶粒径の揃った均一な組織構造をもつため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐えることができます。また、従来難しいとされていた複雑形状品、大型製品などの製造も可能になり、さらなる応用が期待されています。

■特徴

・高純度 (Al2O3 ; 99.97%) ・ハロゲンプラズマへの高耐食性 ・アルミナの理論密度 (3.99g/cm3) ・デポ膜が剥がれにくい

■主な用途:プラズマエッチングプロセス用部材

・シャワープレート ・サセプター ・インシュレーター ・ノズル ・ベルジャー ・ドーム

  • シリーズ

    セラミックス製品 過酷な条件に耐える 高純度アルミナセラミックス (SAPPHAL🄬)

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セラミックス製品 過酷な条件に耐える 高純度アルミナセラミックス (SAPPHAL🄬) 品番1件

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セラミックス製品 過酷な条件に耐える 高純度アルミナセラミックス (SAPPHAL🄬) -品番-SAPPHAL🄬

SAPPHAL🄬

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中心粒度 μm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 700 700 - 800

粒度

F24 F30 F36 F46 F60 F80 F100 F120 F150 F180

平均粒径 μm

0 - 1 1 - 5 5 - 15 15 - 2000

純度 %

95 - 97 97 - 100

嵩密度 g/cm3

3.9 - 4 4 - 4.1

比表面積 m²/g

1 - 5 5 - 20

熱伝導率 W/m・K

10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 35 35 - 40

曲げ強度 MPa

0 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 900

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都
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