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シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion-Gate valve T-Motion
シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion-株式会社ブイテックス

シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion
株式会社ブイテックス

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この製品について

標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイテックスは豊富な経験をもとに、お客様のニーズに応じて小ロットからカスタマイズで製作が可能です。 ブイテックスの角型ゲートバルブについて

■特長

・真空となるバルブ内部には金属同士の摺動部がありません。 ・シンプルで最少数の部品構成のため、コンパクトで省スペース設計です ・弁体シール面が垂直のため、異物噛み込みのリスクが最小です。 ・標準仕様は動作回数100万回まで、高耐久・メンテナンスフリー設計です。 ・弁体シールはOリングが標準です。コストの低減に寄与します。

■角型ゲートバルブの使用例

・真空チャンバーのワーク出入口に設置します。 ・角型ゲートバルブ：ワーク (ウエハーやガラス基板etc) の出入り口として大気-チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。

■Gate valve T-Motion

・大型化するFPD基板 (G11) に対応します。 ・低振動：独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を実現。従来機種比 40% 低減。 ・低パーティクル：弁体のガイド機構は全て大気側に配置縦搬送、横搬送共に無摺動を実現。 ・低価格：バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格を実現。従来機種比 20% 低減 。 ・あらゆる世代に BEST Match：バルブサイズ (幅X高さ) の制約無く装置設計者の思いのままに設定可能。

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    シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion

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シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) リーク量 使用温度 操作圧力 対応世代 開閉時間 材質 寿命 制御ユニット オプション
シンプルな部品構成で小型化を実現 角型ゲートバルブ Gate valve T-Motion-品番-Gate valve T-Motion

Gate valve T-Motion

要見積もり

本体：4.0×10-11[pa・m3/s]
弁体：1.3×10-10[pa・m3/s]

本体/弁体：90℃
Actuator：60℃

0.45-0.55MPa

G6-G11

1.0　–　3.0

本体：アルミニウム
弁体：アルミニウム
シール材：FKM
ベローズ：AM350

100万回

VTEXオリジナルユニット搭載

シール材質の変更
表面処理の追加

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社ブイテックスは、1949年に設立されたバルブメーカーです。 一般社団法人日本バルブ工業会や一般社団法人日本真空工業会に加盟し、真空バルブの製造及び販売を主な事業内容としており、国際品質規格であるISO9001を...

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