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粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80-MUG-80
粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80-株式会社魁半導体

粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80
株式会社魁半導体

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この製品について

■製品概要

・真空チャンバー内に回転式の撹拌機構を導入 ・乾式で全面一括処理 ・グロー放電中で撹拌し、高い均一性を確保 ・回転式のためチップ等小部品を裏返す手間が不要 ・粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元

  • シリーズ

    粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80

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2025年6月16日にレビュー済み

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粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 重量 回転部 ガス系統 ガス制御方法 圧力調整 電源
粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80-品番-MUG-80

MUG-80

要見積もり

400mm (W) ×353mm (D) ×340mm (H)

30

φ80×42mm (D)

オプション

オプション

オプション

100V,15A (50Hz/60Hz)

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使用用途: 表面改質

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使用用途

#フィルム処理 #医療機器加工 #研究開発 #光学部品加工 #材料開発 #接着強化処理 #洗浄除去処理 #電子部品製造 #薄膜形成 #半導体製造 #表面改質

電源 V

100 - 200 200 - 300

重量 kg

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000

ガス系統

オプション 1系統 2系統 3系統

プラズマ出力 W

0 - 100 100 - 600 600 - 1,100

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府

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