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粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80-MUG-80
粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80-株式会社魁半導体

粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80
株式会社魁半導体

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■製品概要

・真空チャンバー内に回転式の撹拌機構を導入 ・乾式で全面一括処理 ・グロー放電中で撹拌し、高い均一性を確保 ・回転式のためチップ等小部品を裏返す手間が不要 ・粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元

  • シリーズ

    粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80

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粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 重量 回転部 ガス系統 ガス制御方法 圧力調整 電源
粉体処理 小型回転式真空プラズマ装置 MUG-80-品番-MUG-80

MUG-80

要見積もり

400mm (W) ×353mm (D) ×340mm (H)

30

φ80×42mm (D)

オプション

オプション

オプション

100V,15A (50Hz/60Hz)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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