大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300-SKIp-CBL300

大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300
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この製品について

大気圧  (リモート)   誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300  (京都大学 酒井先生の技術) 

300mm四方への均一処理を実現します。熱によるダメージは殆んどありません。コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。あらゆるガスをプラズマ化。ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。

■製品概要・300mm四方への均一処理を実現します。
→面状にプラズマを生成するので、バッチ処理を可能とします。

・熱によるダメージは殆んどありません。
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。

・コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
→処理対象物へ電荷のダメージを与えません。

・あらゆるガスをプラズマ化。
→ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。

■オプション・供給ガス系の複数化
・1軸ロボット X-Yロボット R to R
・タッチパネル制御
・コーター  (スプレー・ディップ・スリット)  、および、乾燥工程の追加その他のご要望にもお応え致します。