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大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300-SKIp-CBL300
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300-株式会社魁半導体

大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300
株式会社魁半導体

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この製品について

大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300 (京都大学 酒井先生の技術) 300mm四方への均一処理を実現します。熱によるダメージは殆んどありません。コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。あらゆるガスをプラズマ化。ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。

■製品概要

・300mm四方への均一処理を実現します。 →面状にプラズマを生成するので、バッチ処理を可能とします。 ・熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 ・コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ・あらゆるガスをプラズマ化。 →ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。

■オプション

・供給ガス系の複数化 ・1軸ロボット X-Yロボット R to R ・タッチパネル制御 ・コーター (スプレー・ディップ・スリット) 、および、乾燥工程の追加その他のご要望にもお応え致します。

  • シリーズ

    大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300

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大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 電極プロセス プロセス圧力 推奨ガス ガス流量計 ガス流量制御機構 電源
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300-品番-SKIp-CBL300

SKIp-CBL300

要見積もり

~◻︎300mm

大気圧

アルゴン
※他のガスでも放電はします。

最大1,000L/min

浮子式orMFC

AC200V

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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