大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300 株式会社魁半導体
株式会社魁半導体の対応状況
返答率
100.0%
この製品について
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300 (京都大学 酒井先生の技術)
300mm四方への均一処理を実現します。熱によるダメージは殆んどありません。コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。あらゆるガスをプラズマ化。ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。
■製品概要
・300mm四方への均一処理を実現します。 →面状にプラズマを生成するので、バッチ処理を可能とします。 ・熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 ・コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ・あらゆるガスをプラズマ化。 →ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。■オプション
・供給ガス系の複数化 ・1軸ロボット X-Yロボット R to R ・タッチパネル制御 ・コーター (スプレー・ディップ・スリット) 、および、乾燥工程の追加その他のご要望にもお応え致します。-
シリーズ
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300
-
取扱企業
株式会社魁半導体
大気圧 (リモート) 誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電極プロセス | プロセス圧力 | 推奨ガス | ガス流量計 | ガス流量制御機構 | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SKIp-CBL300 |
要見積もり | ~◻︎300mm | 大気圧 |
アルゴン ※他のガスでも放電はします。 |
最大1,000L/min | 浮子式orMFC | AC200V |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
株式会社魁半導体のその他の取り扱い製品
魁半導体の製品をもっと見る
