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大気圧 (ダイレクト) 卓上大気圧アッシャー装置 SS-50-SS-50
大気圧 (ダイレクト) 卓上大気圧アッシャー装置 SS-50-株式会社魁半導体

大気圧 (ダイレクト) 卓上大気圧アッシャー装置 SS-50
株式会社魁半導体

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この製品について

■製品概要

・ハンディタイプで扱いが容易 ・コントロールボックスは卓上タイプの省スペース ・使用するガスによって 親水化 ・空気でプラズマ生成 ・ハンディータイプであるため凹凸面への処理も可能 ・AC100Vのコンセントで動作 ・超軽量 (コントロールボックス4kgの仕様あり) ・ワイヤーボンディング : 強度の向上に最適 ・バイオ・医療分野にも

  • シリーズ

    大気圧 (ダイレクト) 卓上大気圧アッシャー装置 SS-50

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2025年6月16日にレビュー済み

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大気圧 (ダイレクト) 卓上大気圧アッシャー装置 SS-50 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サイズ ステージ寸法 有効処理部 出力調整
大気圧 (ダイレクト) 卓上大気圧アッシャー装置 SS-50-品番-SS-50

SS-50

要見積もり

210mm (W) ×230mm (D) ×180mm (H)
※突起部除く

70mm×70mm

直径50mm (円形)

可能ガス導入 不要

フィルターから探す

アッシング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#レジスト除去 #残留有機膜剥離 #イオン注入ポリマー除去 #ウェハ表面クリーニング #CCDカラーフィルター処理 #チップパッケージ処理 #MEMS表面処理

プラズマ方式

マイクロ波プラズマ型 RFプラズマ型 大気圧プラズマ型

ガス種別

酸素ガス型 フッ素系ガス型 混合ガス型

構造形式

バッチ型 連続搬送型 ロードロック型

対応ウェーハサイズ mm

75 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 325

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株式会社魁半導体

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府

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