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8インチ、12インチ半導体ウエハ分析X線光電子分光装置 Enviro METROSシリーズ-Enviro METROS LAB
8インチ、12インチ半導体ウエハ分析X線光電子分光装置 Enviro METROSシリーズ-株式会社東京インスツルメンツ

8インチ、12インチ半導体ウエハ分析X線光電子分光装置 Enviro METROSシリーズ
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■概要

"Envio METROS"は、これまでのX線光電子分光装置の常識を打ち破る画期的な製品です。圧力環境を超高真空から準大気圧 (オプション) まで変化させることにより、これまでは不可能であった生体サンプルや固液、気固界面でのオペランド計測が可能となります。また、準大気圧環境で使用可能なUPS光源やIRRAS、SEMなどのバラエティ豊かなオプションにより、様々な測定をこの1台で行うことが可能です。

■特長

・幅広い圧力範囲：UHV～NAP (5,000 Pa) まで対応 ・サンプル搬送から測定まで全自動 ・マルチカラーX線源 (Al, Ag, Cr) ・取込角：±30° ・深さ分析 ・8、12インチウエハをそのまま測定 ・豊富なオプション (Raman、IRRAS、SEM、IPES) ・ユーザーフレンドリーな専用ソフトウェア

  • シリーズ

    8インチ、12インチ半導体ウエハ分析X線光電子分光装置 Enviro METROSシリーズ

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