低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin-Allalin

低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin
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この製品について

■概要Attolight社の、SEMとカソードルミネッセンス光学系を完全一体化した、世界唯一の低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システムです。

面倒な光学調整が一切不要の独自光学設計で、DUV-NIRまでをカバー、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピング、低温測定を実現。さらにストリークカメラと組み合わせて、ピコ秒時間分解測定も実現。基礎研究・開発から品質管理など産業用途にまで対応する、これまでのCL-SEMの常識を覆す顕微鏡システムです。

■特長・電子レンズと高NA (0.71) 光学対物レンズを一体化
・SEM像と同一視野のCL像を観察
・面倒な鏡調整は一切不要
・超高感度・高速マッピング測定
・歪みのない広い観測視野：～ 300 μm
・SEMとCLを統合的に操作・測定
・観測波長：180 nm ～ 1.6 um
・高精度6軸ステージ
・低温測定：10 K ～
・パルス電子源によるピコ秒時間分解測定
・フォトルミネッセンス (PL) 測定

■用途・LED材料の評価
・ワイドギャップ材料の評価 (GaN, SiC, Ga2O3) 
・太陽電池やパワーデバイスなどの開発、品質管理、故障解析
・ナノスケール光デバイスの評価 (プラズモニクス) 
・キャリアの蛍光寿命やダイナミクス観察
・EBIC像/CL像/SEM像の同時複合測定

■光学顕微鏡・電子光学系への内蔵型光学顕微鏡
・対物レンズ：アクロマティック反射対物レンズ、波長 180 nm～1.6μm
・開口数：NA 0.71 (f/0.5) 
・観測視野：> 300μm (電子及び光学顕微鏡) 
・光学顕微鏡分解能：< 5μm
・集光効率：視野全域で30 % (ランバート反射の場合) 

■ナノポジショニングステージ・サンプル径：φ25 x t1.5 mm
・6自由度の任意移動 (クライオスタットオプション対応) 
・ストローク：25 mm (X,Y軸) , 3 mm (Z軸) , 3°傾斜 (X,Y軸) , 35°回転 (Z軸) 
・最小移動単位：1 nm
・位置再現性：100 nm (フルストローク) 、< 2 nm (100 nm範囲) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
低温・超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システム Allalin

取扱企業
株式会社東京インスツルメンツ

カテゴリ

観察機器

光学顕微鏡

観察機器

電子顕微鏡

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走査型電子顕微鏡

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商品画像	品番	価格 (税抜)	測定モード	電子銃	電子光学系	分光器	検出器	チャンバー・真空システム	クライオスタット (オプション)	システム重量	使用環境温度
	Allalin	要見積もり	光学顕微鏡イメージングカソードルミネッセンス (CL) マッピング (多色, 単色, ハイパースペクトラル) 2次電子 (SE) マッピング時間分解CLマッピング (オプション) SEとCLの同時イメージング	ショットキー電子銃：連続モード/時間分解モード (オプション) 加速電圧：3~10 kV プローブ電流：1 pA~20 nA	電磁レンズ, 偏光素子, 収差補正系を内蔵した電子光学鏡筒連続モードと時間分解モードの両方に最適化空間分解能：< 10 nm (3~10 kV) 作動距離：3 mm	分散型イメージング分光器出射ポート数2 焦点距離320nm 回折格子搭載数3 (各回折格子の仕様は注文時に指定)	PMT (ポート1) CCD (ポート2) UV-VISストリークカメラ (時間分解オプション, 最小時間分解能10 ps)	電子銃用イオンゲッターポンプ (差動排気) チャンバー用ターボ分子ポンプチャンバーサイズ：208 mm (直径) x 300 mm (高さ)	低振動ヘリウムコールドフィンガー温度範囲：20~300 K デジタル温度コントローラ	カソードルミネッセンスシステム：250 kg 光学テーブル：650 kg	20±3℃, 湿度70%以下