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メカニクス アクティブ除振台-Aris TT20
メカニクス アクティブ除振台-株式会社東京インスツルメンツ

メカニクス アクティブ除振台
株式会社東京インスツルメンツ

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この製品について

■アクティブ除振台

・SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能 ・分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台

■アクティブ除振台 製品概要

K&S Adcvanced Systems社が開発したアクティブ除振台は、リニアモーターを使用した6自由度アクティブ除振層とパッシブ除振層を組み合わせた、独自開発のダンパー構造を搭載することにより高い除振性能を発揮する、革新的な除振台です。 またリニアモーターを使用しているため、長ストロークの振動にも対応し、耐久性も備えております。除振台内部にオシロスコープとスペクトルアナライザを搭載しており、振動状況をリアルタイムでモニタリングしながら、カスタム調整を行うことも可能です。

■アクティブ除振台 特長

・リニアモーター搭載：軽量化＆超ロングアクチュエータストロークを実現 ・6自由度アクティブ制御 (AIによる自動調整機能) ・除振範囲：0.5～100Hz ・内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング ・内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング ・ワークステーション環境にシームレスで組込み ・立ち上げ後の再チューニング不要 ・カスタマイズ可能 ・モジュラータイプは制御台数無制限

■アクティブ除振台 卓上タイプ「ARIS TT」

卓上型SEMやTEMなどの卓上タイプの電子顕微鏡に最適です。設置は電子顕微鏡の下に敷くだけで完了します。ソフトウェアでセットアップを行えばすぐにご使用いただけます。他の機器や環境からの振動を除振し、より鮮明な観察像が得られます。

■アクティブ除振台の効果 電子顕微鏡画像の比較

アクティブ除振台によって、像の輪郭がはっきり観察できるようになります。

■オシロスコープ・スペクトルアナライザによるモニタリング

内蔵されたオシロスコープ・スペクトルアナライザによって振動の状況や、除振の状態をリアルタイムでモニタリングすることが可能です。このデータを元に、リアルタイムで除振性能を調整できます。

  • シリーズ

    メカニクス アクティブ除振台

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メカニクス アクティブ除振台 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 寸法 (W×D×H) mm 耐荷重 アクチュエータ出力 除振範囲 構造 自由軸 除振性能 セトリング時間 リアルタイム分析ツール リアルタイム調整 対応電源
メカニクス アクティブ除振台-品番-Aris TT20

Aris TT20

要見積もり

300×450×80

5~20kg

垂直：50N 水平：25N

0.5~100Hz

MVIS-多層防振構造

6軸

~8db (1Hz)
~20db (2Hz)

≤0.1秒

内蔵リアルタイム2×チャンネル オシロスコープ
内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー

全自由度調整可能
リモートコントロール

AC 80~260V/50~60Hz

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