メカニクスアクティブ除振台
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この製品について

■アクティブ除振台・SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能
・分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台

■アクティブ除振台 製品概要K&S Adcvanced Systems社が開発したアクティブ除振台は、リニアモーターを使用した6自由度アクティブ除振層とパッシブ除振層を組み合わせた、独自開発のダンパー構造を搭載することにより高い除振性能を発揮する、革新的な除振台です。

またリニアモーターを使用しているため、長ストロークの振動にも対応し、耐久性も備えております。除振台内部にオシロスコープとスペクトルアナライザを搭載しており、振動状況をリアルタイムでモニタリングしながら、カスタム調整を行うことも可能です。

■アクティブ除振台 特長・リニアモーター搭載：軽量化＆超ロングアクチュエータストロークを実現
・6自由度アクティブ制御 (AIによる自動調整機能) 
・除振範囲：0.5～100Hz
・内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング
・内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング
・ワークステーション環境にシームレスで組込み
・立ち上げ後の再チューニング不要
・カスタマイズ可能
・モジュラータイプは制御台数無制限

■アクティブ除振台 卓上タイプ「ARIS TT」卓上型SEMやTEMなどの卓上タイプの電子顕微鏡に最適です。設置は電子顕微鏡の下に敷くだけで完了します。ソフトウェアでセットアップを行えばすぐにご使用いただけます。他の機器や環境からの振動を除振し、より鮮明な観察像が得られます。

■アクティブ除振台の効果 電子顕微鏡画像の比較アクティブ除振台によって、像の輪郭がはっきり観察できるようになります。

■オシロスコープ・スペクトルアナライザによるモニタリング内蔵されたオシロスコープ・スペクトルアナライザによって振動の状況や、除振の状態をリアルタイムでモニタリングすることが可能です。このデータを元に、リアルタイムで除振性能を調整できます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
メカニクスアクティブ除振台

取扱企業
株式会社東京インスツルメンツ

カテゴリ

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メカニクスアクティブ除振台品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	寸法 (W×D×H) mm	耐荷重	アクチュエータ出力	除振範囲	構造	自由軸	除振性能	セトリング時間	リアルタイム分析ツール	リアルタイム調整	対応電源
	Aris TT20	要見積もり	300×450×80	5~20kg	垂直：50N 水平：25N	0.5~100Hz	MVIS-多層防振構造	6軸	~8db (1Hz) ~20db (2Hz)	≤0.1秒	内蔵リアルタイム2×チャンネルオシロスコープ内蔵リアルタイム2×チャンネルスペクトルアナライザー	全自由度調整可能リモートコントロール	AC 80~260V/50~60Hz