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生体試料、透明材料、薄膜、あらゆる材料に対応 フェムト秒レーザー超微細加工装置取扱企業
株式会社東京インスツルメンツカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 発振波長 | パルスエネルギー | 繰返し周波数 | パルス幅 | 光学ユニット | 位置決めステージ構成例 | 試料台 | 照射・観察ユニット | 制御ユニット | 光学除振台 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ピコ秒レーザー |
要見積もり |
1,064/532/355nm |
30~200µJ@1,064nm 20~100µJ@1,064nm 10~75µJ@1,064nm |
シングルショット~1MHz |
<10ps |
エネルギー制御・偏光制御・ビーム整形 (トップハットビーム等) |
XY軸:加工範囲 ±50mm、分解能 2µm、最大移動量 16mm/s Z軸:加工範囲 0~20mm、分解能 1µm、最大移動量 5mm/s |
吸着テーブル (ステンレス製) |
顕微鏡ベース筐体可、照射光学系、観察光学系 |
システム制御ドライバー・コントローラー、電源制御ボックス、制御ソフトウェア |
三次元空気バネ式除振装台 |
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