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高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源-HFS-013-0005C
高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源-日本高周波株式会社

高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源
日本高周波株式会社



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この製品について

半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。

  • シリーズ

    高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源

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高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 発振周波数 最大定格出力 出力インピーダンス 出力コネクタ/ケーブル 出力電力安定度 耐反射電力 高調波 出力リップル 所要電力50/60H z 冷却方式 周囲環境温度/湿度 電源保護機能 電源本体寸法 幅 電源本体寸法 奥行 電源本体寸法 高さ 質量 (電源本体のみ)
高周波電源オート・マッチングボックス他 13.56MHz高周波電源-品番-HFS-013-0005C

HFS-013-0005C

要見積もり

13.56MHz ±0.05%

50W

50Ω

BNC

電源電圧の±1 0 %変動に対して最大パワーの±1 %以内 (但し周囲温度2 5℃、ダミーロード使用時)

50W

基本波に対して-30dB以下

1%以下

AC100V
1φ, 120VA

強制空冷

10~30℃/30~80% 但し結露なきこと

サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッタ、反射 (Pr) リミッタ、温度検出

240mm

400mm

99mm

約5kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本高周波株式会社は、1932年に設立された高周波機器メーカーです。 同軸コンポーネントの製造販売、空中線監視装置の製造販売、導波管コンポーネントの製造販売、マイクロ波電源の製造販売、高周波増幅器の製造販売、モニタ機器...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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