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マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波スマートパワーシステムMSPS MSPS-050-MSPS-050
マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波スマートパワーシステムMSPS MSPS-050-日本高周波株式会社

マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波スマートパワーシステムMSPS MSPS-050
日本高周波株式会社



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この製品について

本システムはマグネトロンを極めて高い安定度で発振可能とした2,450MHz帯高出力マイクロ波電源です。2.45GHzマイクロ波電源はマイクロ波プラズマCVD、マイクロ波ECRプラズマ等、半導体製造装置用電源として不可欠な存在です。 マグネトロンを用いたマイクロ波電源はクライストロンやソリッドステート方式に比較してはるかに安価に高出力電源を構成することが出来ますが、出力や負荷変動により発振周波数が大きく変動する欠点がありました。 本システムは、このようなマグネトロンの欠点を解決した画期的なマイクロ波電源で、弊社独自の方式により基準周波数発振器からの周波数に完全同期してマグネトロンを発振させることが可能となったため、発振周波数が極めて安定しています。

■特徴

・出力を可変しても発振周波数は変動しません。 ・発振安定度は基準信号発振器の発振精度に依存します。 ・周波数は2445MHz~2460MHzの任意ポイントに製造可能です。 ・並列運転により出力合成が可能です。 ・整合精度が極めて向上します。

  • シリーズ

    マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波スマートパワーシステムMSPS MSPS-050

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マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波スマートパワーシステムMSPS MSPS-050 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 発振周波数 出力電力 周波数安定度
マイクロ波電源・自動整合器他 マイクロ波スマートパワーシステムMSPS MSPS-050-品番-MSPS-050

MSPS-050

要見積もり

2.45GHz (マグネトロンの型式/特性により帯域内の最適周波数に設定)

0.5~5kW

1×10-5/h

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

日本高周波株式会社は、1932年に設立された高周波機器メーカーです。 同軸コンポーネントの製造販売、空中線監視装置の製造販売、導波管コンポーネントの製造販売、マイクロ波電源の製造販売、高周波増幅器の製造販売、モニタ機器...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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