多目的スピンコーター POLOS
株式会社協同インターナショナル

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この製品について

多目的スピンコーターPOLOSの最大の特徴は全てが樹脂で出来ている事にあります。 その為、レジストコート以外にエッチングなど、アルカリ性・酸性等の薬品洗浄が必要な目的にも使用する事ができます。

■スピンコーターとはスピンコーターとは平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する装置です。装置の名称はスピナーとも呼ばれています。回転速度が速いほど、生成される薄膜は薄くなり中心と周辺で膜厚を均質にする必要があります。

■POLOSとはオランダSPS社が開発したPOLOSは、樹脂を全面的に採用した樹脂製スピンコーターです。一般的なスピンコーターはステンレスを用いる為、金属汚染、耐薬液性、洗浄の手間の問題がありますが、樹脂製スピンコーターPOLOSにおいては、それらの課題に悩まされる事はありません。またシームレスに組み上げた密閉性の高い構造、静音性、安定性、加速度性に優れたモーターにより、安定して再現性の高い結果を得る事が出来るだけでなく、スピン現像、スピンエッチング、リンス/洗浄、スピン乾燥といった多目的に使用する事が出来ます。

また豊富なチャックがオプションとして用意されており、チップサイズから大径基板まで幅広い基板に対応します。
スタンドアロンモデルの他、ユーティリティーと一体化したウェットステーションタイプ、またウェットステーションに組み込む為のコンポーネントといったラインアップも充実しています。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
多目的スピンコーター POLOS

取扱企業
株式会社協同インターナショナル

カテゴリ

加工・工作機器

コーター

加工・工作機器

スピンコータ

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多目的スピンコーター POLOS 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ディスペンス	概略	対応基板サイズ	乾燥	リンス	洗浄	エッチング	現象	コーティングマニュアル
	Spin150i デスクトップ	要見積もり	マニュアル	スタンダード型・3つのプログラム用アウトプット端子付き。 (例：ディスペンスユニット、N2 ディフューザー等) ・アウトプット端子の使用によりオートマチックディスペンスとして使用可能	φ160mm (or 6”) or 4”x4”まで	○	○	○	○	○	○