全てのカテゴリ

閲覧履歴

多目的スピンコーター POLOS-Spin150i デスクトップ
多目的スピンコーター POLOS-株式会社協同インターナショナル

多目的スピンコーター POLOS
株式会社協同インターナショナル



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

多目的スピンコーターPOLOSの最大の特徴は全てが樹脂で出来ている事にあります。 その為、レジストコート以外にエッチングなど、アルカリ性・酸性等の薬品洗浄が必要な目的にも使用する事ができます。

■スピンコーターとは

スピンコーターとは平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する装置です。装置の名称はスピナーとも呼ばれています。回転速度が速いほど、生成される薄膜は薄くなり中心と周辺で膜厚を均質にする必要があります。

■POLOSとは

オランダSPS社が開発したPOLOSは、樹脂を全面的に採用した樹脂製スピンコーターです。一般的なスピンコーターはステンレスを用いる為、金属汚染、耐薬液性、洗浄の手間の問題がありますが、樹脂製スピンコーターPOLOSにおいては、それらの課題に悩まされる事はありません。またシームレスに組み上げた密閉性の高い構造、静音性、安定性、加速度性に優れたモーターにより、安定して再現性の高い結果を得る事が出来るだけでなく、スピン現像、スピンエッチング、リンス/洗浄、スピン乾燥といった多目的に使用する事が出来ます。 また豊富なチャックがオプションとして用意されており、チップサイズから大径基板まで幅広い基板に対応します。 スタンドアロンモデルの他、ユーティリティーと一体化したウェットステーションタイプ、またウェットステーションに組み込む為のコンポーネントといったラインアップも充実しています。

  • シリーズ

    多目的スピンコーター POLOS

この製品を共有する


70人以上が見ています


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

多目的スピンコーター POLOS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ディスペンス 概略 対応基板サイズ 乾燥 リンス 洗浄 エッチング 現象 コーティングマニュアル
多目的スピンコーター POLOS-品番-Spin150i デスクトップ

Spin150i デスクトップ

要見積もり

マニュアル

スタンダード型・3つのプログラム用アウトプット端子付き。 (例:ディスペンス ユニット、N2 ディフューザー等) ・アウトプット端子の使用によりオートマチックディスペンスとして使用可能

φ160mm (or 6”) or 4”x4”まで

フィルターから探す

コーターをフィルターから探すことができます

有効塗布幅 mm

200 - 400 400 - 800 800 - 1200

ポンプ吐出量 ℓ/min

0 - 50 50 - 100

ヘッド形式

シングルヘッド

ヘッド材質

青銅鋳物 鋼材フッ素コーティング

塗工方式

グラビアコーター ダイコーター スロットダイコーター ミニスロットダイコーター コンマコーター ブレードコーター ダイレクトコート スリットコーター

塗工速度 mm/s

0 - 100 100 - 500 500 - 1.00E+03 1000 - 3.50E+03

XYZ繰返し位置精度 μm

0 - 10 10 - 100 100 - 150

この商品を見た方はこちらもチェックしています

コーターをもっと見る

協同インターナショナルの取り扱い製品

協同インターナショナルの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社協同インターナショナルは、業種に拘わらずオンリーワンの製品を通して企業の抱える課題解決策を提案することを企業理念に、 業種、業態、国境の壁を越えた事業を手掛けています。 半導体に関するビジネスを中心に研究開発か...

もっと見る

  • 本社所在地: 神奈川県
Copyright © 2025 Metoree