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シリーズ
全自動量産マスクアライナー 量産用 Model 6000取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
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露光装置の製品37点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | アライメント 精度 | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
量産用 Model 6000 |
要見積もり |
50mm~200mmウェハ/角 もしくは 200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm厚 7mm~10mm反り量 |
XY 動作 : ±6.5mm Z 動作 : 1,500µm 回転 : ±5° |
片面：0.5µm 両面：＜2µm (3σ) |
1s-999s ( 0.1s間隔) |
プロキシミティ、 ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、 バキュームコンタクト |
電源 : 220V 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
1,651mH x 2,184mmW x 1,364mmD |
露光装置の中で同じ条件の製品
アライメント精度: 0 - 0.5µm
露光装置をフィルターから探すことができます
露光解像度 μm
0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 5 5 - 15露光モード
ソフトコンタクト プロキシミティ露光光源
365nm LED 375nm 半導体レーザ 超高圧水銀ランプ 385nm LED メタルハライドランプアライメント精度 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3露光時間 秒
0 - 1 1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 360,000
