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シリーズ
マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用 Model 212取扱企業
株式会社協同インターナショナルカテゴリ
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露光装置の製品37点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | 露光 時間 | 露光 モード 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
R&D用 Model 212 |
要見積もり |
12インチ角まで |
14インチ角まで |
XY 動作 : ±10mm Z 動作 : 5mm 回転 : ± 3.5° |
0.1s~99.0s (0.1s間隔) もしくは 1s~999s (1s間隔) |
プロキシミティ : 5µm (20µm ギャップ) ソフトコンタクト: 2µm ハードコンタクト: 1µm バキュームコンタクト : sub-µm |
電源 : 110V もしくは 220V ( 仕様による) 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
1,067mmH×1,524mmW×1,346mmD |
露光装置の中で同じ条件の製品
露光時間: 0 - 1秒
露光装置をフィルターから探すことができます
露光解像度 μm
0 - 0.1 0.1 - 0.5 0.5 - 1 1 - 5 5 - 15露光モード
ソフトコンタクト プロキシミティ露光光源
365nm LED 375nm 半導体レーザ 超高圧水銀ランプ 385nm LED メタルハライドランプアライメント精度 µm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3露光時間 秒
0 - 1 1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 360,000
