異物・粗大粒子測定機器付着異物・落下塵の調査に『落下塵カウンター』DTSP10-03-DTSP10-03

異物・粗大粒子測定機器付着異物・落下塵の調査に『落下塵カウンター』DTSP10-03
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■概要浮遊塵ではなく落下塵を測定できる特殊測定機 10μm以上の粗大粒子を分級しカウント

■こんなお悩みはありませんか・クリーンルームで作業しているのに付着異物が減らない。
・パーティクルカウンターで管理しているが、不良との相関が取れない。
・クリーン環境を作りたいが管理の仕方がわからない。
・ウエアなどからの付着異物の持ち込み対策に苦労している。

■浮遊塵ではなく落下塵を測定することが付着異物の対策に繋がります製品への付着異物を減らしたいなら、パーティクルカウンターではなく落下塵カウンターで測定する必要があります。

その理由として、
①付着異物の原因となる粗大粒子は10μm～100μmとサイズが大きくて、パーティクルカウンターでは測定できないから
②粒子が大きい粗大粒子は空気中に浮遊せず、沈降して落下塵となるから
以上の2つが挙げられます。また、2021年2月からはISO14644-17が制定され、不良原因となる粗大粒子を直接管理指標とすることが可能になっています。そのため、空気中の微小な浮遊塵ではなく落下塵を測定することで、付着異物を管理できるのです。

■落下塵カウンターとは浮遊塵ではなく、落下した粗大粒子を測定できる特殊測定機です。試料収集板 (4インチシリコンウエハ) を使用し、粗大粒子の沈降する特性を活用して落下してきた10μm以上の粗大粒子を分級し、カウントします。シリコンウエハが置ける所であれば、どこでも評価することができます。
※シリコンウエハ･･･半導体の基板で、表面の平坦性や耐熱性に優れた円盤状のサンプル板。

本機はシリコンウエハでサンプルし、10μm～100μmの粗大粒子の分級とカウントに特化した測定装置です。100μm以上の毛髪等の異物は形状や重さの影響でシリコンウエハでのサンプルは不向きです。より大きいサイズの異物調査には『ダスカー®100 BLACK』がオススメです。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
異物・粗大粒子測定機器付着異物・落下塵の調査に『落下塵カウンター』DTSP10-03

取扱企業
NCC株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

パーティクルカウンター

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異物・粗大粒子測定機器付着異物・落下塵の調査に『落下塵カウンター』DTSP10-03 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最小可測粒径	粒径区分	対応ウエハサイズ	最大測定エリア	トリミング機能	表示切替
	DTSP10-03	要見積もり	10μm	10μm、30μm、50μm、100μm 11~99μmの範囲で数値を任意に設定可能 3) 3) 任意区分で設定した閾値は検量線から求めた値であり、計数効率の保証は出来ません。	4インチ 2インチ 4) 4) 計数効率は4インチエリアのみ保証、エリア限定している2インチの場合は計数効率の保証ができません。	4インチ：φ80mm 2インチ：φ30mm	4インチ：有り 2インチ：無し	有り (区分表示可能)

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