キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ-OKH-MR
キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ-大宮工業株式会社

キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ
大宮工業株式会社



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この製品について

キャリア洗浄機は、ウエハキャリアおよびキャリアボックスの洗浄乾燥装置です。高圧水のシャワーによる洗浄、遠心力とクリーンエアー (またはN₂) による乾燥を行います。

■洗浄効果UP

加圧気体と微粒子化した純水を同時にスプレーすることにより、高噴射圧力の液滴が断続的かつ連続的に噴霧され高圧スプレー以上の洗浄効果を発揮します。

■乾燥効率UP

高速回転による遠心力でワーク表面の水滴を飛散させ、同時にフィルターを介したクリーンエアーで乾燥させます。 (N₂仕様も可能) さらに遠心力では飛ばせない水滴を、特殊ノズルによる加圧エアーのブローにより乾きにくい部分もフォローし、乾燥効率UPを実現します。

■ランニングコストを考慮したエコ仕様

噴霧粒子が微細なため、純水流量も従来に比べて1/3に。 (当社比) 装置価格と共にランニングコストにも配慮したエコ設計です。

  • シリーズ

    キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ

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キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ワーク 装置寸法 材質 タクト 回転数 タイマー設定 レシピ 電源 駆動エアー 乾燥エアー 純水 排気口 排水口
キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ-品番-OKH-MR

OKH-MR

要見積もり キャリア×2ヶ掛けキャリアBOX×2ヶ掛け 6inchキャリア用W950×D1,340×H1,200 (H2,020蓋開時) (mm) [本体外装]PVCTSP-333 (Ivory) [ローター]SUS304電解研磨処理 15min/回※キャリア形状により変動あり 10~600min^-16速設定可能 0~999sec 10種類 AC200V±10%50/60Hz30A 圧力:0.5MPa以上消費量:30L/min (ANR) クリーンエアー圧力:0.3MPa以上消費量:450L/min (ANR) 圧力:0.2Mpa以上純水消費量:12L/min VP501箇所 (チャンバーより) (排気量8M3/min) VP401箇所 (チャンバーより)

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ(半導体素子製造の材料)を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県
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