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キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ取扱企業
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半導体洗浄装置の製品32点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ワーク | 装置寸法 | 材質 | タクト | 回転数 | タイマー設定 | レシピ | 電源 | 駆動エアー | 乾燥エアー | 純水 | 排気口 | 排水口 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
OKH-MR |
要見積もり |
キャリア×2ヶ掛けキャリアBOX×2ヶ掛け |
6inchキャリア用W950×D1,340×H1,200 (H2,020蓋開時) (mm) |
［本体外装］PVCTSP-333 (Ivory) ［ローター］SUS304電解研磨処理 |
15min/回※キャリア形状により変動あり |
10~600min^-16速設定可能 |
0~999sec |
10種類 |
AC200V±10%50/60Hz30A |
圧力：0.5MPa以上消費量：30L/min (ANR) |
クリーンエアー圧力：0.3MPa以上消費量：450L/min (ANR) |
圧力：0.2Mpa以上純水消費量：12L/min |
VP501箇所 (チャンバーより) (排気量8M3/min) |
VP401箇所 (チャンバーより) |
