キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

キャリア洗浄機は、ウエハキャリアおよびキャリアボックスの洗浄乾燥装置です。高圧水のシャワーによる洗浄、遠心力とクリーンエアー (またはN₂) による乾燥を行います。

■洗浄効果UP加圧気体と微粒子化した純水を同時にスプレーすることにより、高噴射圧力の液滴が断続的かつ連続的に噴霧され高圧スプレー以上の洗浄効果を発揮します。

■乾燥効率UP高速回転による遠心力でワーク表面の水滴を飛散させ、同時にフィルターを介したクリーンエアーで乾燥させます。 (N₂仕様も可能) さらに遠心力では飛ばせない水滴を、特殊ノズルによる加圧エアーのブローにより乾きにくい部分もフォローし、乾燥効率UPを実現します。

■ランニングコストを考慮したエコ仕様噴霧粒子が微細なため、純水流量も従来に比べて1/3に。 (当社比) 装置価格と共にランニングコストにも配慮したエコ設計です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ

取扱企業
大宮工業株式会社

カテゴリ

半導体製造

半導体洗浄装置

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キャリア洗浄機 OKH-MR-シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対応ワーク	装置寸法	材質	タクト	回転数	タイマー設定	レシピ	電源	駆動エアー	乾燥エアー	純水	排気口	排水口
	OKH-MR	要見積もり	キャリア×2ヶ掛けキャリアBOX×2ヶ掛け	6inchキャリア用W950×D1,340×H1,200 (H2,020蓋開時) (mm)	［本体外装］PVCTSP-333 (Ivory) ［ローター］SUS304電解研磨処理	15min/回※キャリア形状により変動あり	10~600min^-16速設定可能	0~999sec	10種類	AC200V±10%50/60Hz30A	圧力：0.5MPa以上消費量：30L/min (ANR)	クリーンエアー圧力：0.3MPa以上消費量：450L/min (ANR)	圧力：0.2Mpa以上純水消費量：12L/min	VP501箇所 (チャンバーより) (排気量8M3/min)	VP401箇所 (チャンバーより)