ケミカルフィルタリソガード LPS
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この製品について

リソガードLPSフィルタは、現在もクラス最高レベルにあるリソガードBSMmaxフィルタの除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮します。

最先端プロセス向けの半導体製造装置を始め、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の様々な分子状汚染物質 (AirborneMolecularContamination/AMC) の除去に最適です。

特長
■様々な汚染物質の除去に、ご使用になれます。・酸性ガス (SO2,HCl,HBr) 
・塩基性ガス (NH3,NMP,アミン) 
・凝縮性有機ガス (HMDSO,TMS) 
・リソガードBSMmaxフィルタと比較して、同等サイズでありながら、塩基性ガス、有機ガスに対する吸着容量アップを実現しています。
・リソガードBSMmaxフィルタからの置き換えが可能です。
・Refillプログラムにより、フィルターの再利用が可能です。
・グローバルな販売・サービス体制が整っております。

リソガードLPSフィルタはリソガード専用キャビネットへ収納し、ケミカルフィルタシステムとして、ご使用になれます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ケミカルフィルタリソガード LPS

取扱企業
日本ドナルドソン株式会社

カテゴリ

フィルタ

エアフィルタ

フィルタ

ケミカルフィルタ

フィルタ

ガスフィルター

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ケミカルフィルタリソガード LPS 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	適用フィルタシステム	概略寸法 (幅×高さ×奥行き)	設定風量	最大圧力損失	概算重量
	P515501	要見積もり	リソガード-12	555×430×188mm	433m3/hr リソガードLPSフィルタ1個あたりの数値となります。	265Pa リソガードLPSフィルタ1個あたりの数値となります。	20kg