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酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12-KAX007890
酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12-日本ドナルドソン株式会社

酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12
日本ドナルドソン株式会社

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この製品について

LITHOGUARD®-12は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効 率ケミカルフィルタシステムです。またLITHOGUARD®-12は、低濃度環境下においても高い汚染物質除去性能を発揮するため、超清浄環境が要求されるプロセスの実現や光学系部品の汚染による性能低下の防止にも最適です。

■特長

・高効率ケミカルフィルトレーション (>99%) ・長寿命 (LPSまたはBSMmaxフィルタ搭載) ・省スペース ・低コスト (Refillプログラムによるフィルターの再生利用) ・HEPAフィルタ搭載 (>99.97%) ・操作用電源および気密用の圧縮空気 (CDA,N2等) 不要 ・ガス分析用サンプリングポート付

■フィルタ構成

・LPSまたはBSMmaxケミカルフィルタ×12枚 ・HEPAフィルタ×6枚

  • シリーズ

    酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12

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酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ケミカルフィルタ品番 設定風量 寸法 概算重量 (フィルター込) 操作用電源 気密用圧縮空気
酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用 HEPA フィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムリソガード -12-品番-KAX007890

KAX007890

要見積もり

P512612

2,600m3/hr

幅850mmx高さ1,850mmx奥行1,200mm

600kg

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

日本ドナルドソン株式会社は、東京都立川市にあるフィルター及びフィルター関連製品のメーカーです。 1915年の創業以来、フィルターメーカーとして、車両のエンジン用のフィルターや工場内の集塵機のフィルター、パソコン内のハー...

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  • 本社所在地: 東京都
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