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LITHOGUARD® POINT OF USE FILTERS インラインケミカルフィルタ リソガードPOUフィルタ-P511554
LITHOGUARD® POINT OF USE FILTERS インラインケミカルフィルタ リソガードPOUフィルタ-日本ドナルドソン株式会社

LITHOGUARD® POINT OF USE FILTERS インラインケミカルフィルタ リソガードPOUフィルタ
日本ドナルドソン株式会社

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この製品について

ドナルドソンのリソガードPOU (Point-Of-Use/局所) フィルタは、塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質除去用の配管接続タイプのケミカルフィルタです。 リソガードPOUフィルタは、半導体製造・各種開発実験/評価試験、レーザー加工機・光学系機器の保護といった、より高純度のCDA (クリーンドライエア) 、不活性ガス、圧縮空気の供給が必要とされるプロセスでのご使用に最適です。

■用途

・半導体製造、各種開発実験/評価試験プロセス ・レーザー加工機・光学系機器の保護など

■特長

・圧縮空気、CDA (クリーンドライエア) 、N2、その他不活性ガス内の汚染物質除去用として使用可能 ・フィルタ本体ケースにはステンレススチール (SUS304) を使用 ・物理および化学吸着により通過気体中の酸性・塩基性・有機ガスを捕集 ・ガス状の汚染物質除去と併せて、高いパーティクル除去機能有り ・1MPaGまでの圧力にて使用可能 ・ねじ、VCR、チューブなどの継手により接続

  • シリーズ

    LITHOGUARD® POINT OF USE FILTERS インラインケミカルフィルタ リソガードPOUフィルタ

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LITHOGUARD® POINT OF USE FILTERS インラインケミカルフィルタ リソガードPOUフィルタ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サイズ 推奨最大流量 (SLPM) 概略重量 (kg) 継手
LITHOGUARD® POINT OF USE FILTERS インラインケミカルフィルタ リソガードPOUフィルタ-品番-P511554

P511554

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2.5"サイズ

50

1.3

1/4" チューブ

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

日本ドナルドソン株式会社は、東京都立川市にあるフィルター及びフィルター関連製品のメーカーです。 1915年の創業以来、フィルターメーカーとして、車両のエンジン用のフィルターや工場内の集塵機のフィルター、パソコン内のハー...

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  • 本社所在地: 東京都
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