1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上薬液補充ポンプ CFD
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この製品について

■分注性能の向上吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。またサイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。

■耐腐食性構造計接液部はオールフッ素樹脂 (PTFE、PFA、PCTFE) で構成されており、半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液に対応できます。また、ポンプ外部は樹脂 (PTFE、PFA、PP、PVC) 及びPTFEコーティングされたネジを使用することにより、高い耐腐食性構造になっています。

■幅広い吐出量設定に対応ポンプ下部のカバーを外して、ストローク長の調節が簡単に行なえます。 1shot当り最大2.7mLの吐出が可能です。 (出荷時は、1shot 当り1mLです。) 

■リークセンサー標準装備ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサーを標準装備しました。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上薬液補充ポンプ CFD

取扱企業
入江株式会社

カテゴリ

ポンプ

薬注ポンプ

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2024年5月20日にレビュー済み

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1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上薬液補充ポンプ CFD 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	用途	吐出量	最大吐出圧力	取扱液温度範囲	最大ストローク数	供給エアー圧力	最大エアー消費量	接液部材質	ポンプ接続口径	供給エアー接続口径	質量	電源電圧	出力形式	許容電流	コード	形式
	CFD	要見積もり	薬液補充用途	1mL/shot	0.05MPa	20~60℃	30spm	0.15~0.3MPa	2.5NL/min	PTFE、PFA、PCTFE	1/4”PFAチューブ (φ6.35×4.35)	Rc1/8	1.1kg	5~24V DC±10％	NPNトランジスタ・オープンコレクタ	50mA以下	PVC 4心ケーブル外径φ5.2mm ケーブル長5m 丸形端子 (0.5‐4) 付き	透過型マイクロフォトセンサ