1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD
入江株式会社
この製品について
■分注性能の向上
吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー洗浄液の濃度管理を精度よく行えます。さらに、濃度のオーバーシュートを抑えることができ、洗浄液のコストダウンにもつながります。またサイホン防止機構を内蔵し、薬液の流出を防止します。■耐腐食性構造計
接液部はオールフッ素樹脂 (PTFE、PFA、PCTFE) で構成されており、半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水等の薬液に対応できます。また、ポンプ外部は樹脂 (PTFE、PFA、PP、PVC) 及びPTFEコーティングされたネジを使用することにより、高い耐腐食性構造になっています。■幅広い吐出量設定に対応
ポンプ下部のカバーを外して、ストローク長の調節が簡単に行なえます。 1shot当り最大2.7mLの吐出が可能です。 (出荷時は、1shot 当り1mLです。)■リークセンサー標準装備
ベローズ破損時にも素早く対応できるリークセンサーを標準装備しました。-
シリーズ
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD
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取扱企業
入江株式会社
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カテゴリ
入江株式会社のレビュー (1件)
4.5Metoree経由で見積もりをしたユーザーからのレビュー
投稿した日時: 2024年5月20日
顧客対応への満足度
顧客対応への満足度の理由
対応が早い。
初回対応までの時間への満足度
初回対応までの時間
0.65時間
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1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上 薬液補充ポンプ CFD 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 用途 | 吐出量 | 最大吐出圧力 | 取扱液温度範囲 | 最大ストローク数 | 供給エアー圧力 | 最大エアー消費量 | 接液部材質 | ポンプ接続口径 | 供給エアー接続口径 | 質量 | 電源電圧 | 出力形式 | 許容電流 | コード | 形式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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CFD |
要見積もり | 薬液補充用途 | 1mL/shot | 0.05MPa | 20~60℃ | 30spm | 0.15~0.3MPa | 2.5NL/min | PTFE、PFA、PCTFE | 1/4”PFAチューブ (φ6.35×4.35) | Rc1/8 | 1.1kg | 5~24V DC±10％ | NPNトランジスタ・オープンコレクタ | 50mA以下 | PVC 4心ケーブル 外径φ5.2mm ケーブル長5m 丸形端子 (0.5‐4) 付き | 透過型マイクロフォトセンサ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
