ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
入江株式会社
この製品について
■中温仕様の2タイプ
横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。■肉厚ベローズ
FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。■センサー駆動方式
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、ゴム・金属を使用しないコンタミフリー設計です。また、FF-Hシリーズの本体とベローズは完全に溶接されているため、ヒートサイクルによる液漏れがありません。■簡単操作
専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。-
シリーズ
ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
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取扱企業
入江株式会社
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カテゴリ
入江株式会社のレビュー (1件)
4.5Metoree経由で見積もりをしたユーザーからのレビュー
投稿した日時: 2024年5月20日
顧客対応への満足度
顧客対応への満足度の理由
対応が早い。
初回対応までの時間への満足度
初回対応までの時間
0.65時間
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ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大吐出量 L/min | 供給エアー圧力範囲 MPa | 液温範囲 ℃ | 最大エアー消費量 NL/min | ポンプストローク数 spm | ポンプ接続口径 | エアー接続口径 | 周囲温度 ℃ | 駆動方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
FA-2E-1 |
要見積もり | 2 | 0.2~0.4 | 5~100 | 50 | Max.150 | Rc1/8 | Rc1/4 | 0~40 | 近接スイッチ方式 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
