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ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-FA-2E-1
ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-入江株式会社

ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
入江株式会社

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この製品について

■中温仕様の2タイプ

横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。

■肉厚ベローズ

FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。

■センサー駆動方式

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、ゴム・金属を使用しないコンタミフリー設計です。また、FF-Hシリーズの本体とベローズは完全に溶接されているため、ヒートサイクルによる液漏れがありません。

■簡単操作

専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

  • シリーズ

    ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ

企業レビュー 4.5

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2024年5月20日にレビュー済み

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0.65時間


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ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大吐出量 L/min 供給エアー圧力範囲 MPa 液温範囲 ℃ 最大エアー消費量 NL/min ポンプストローク数 spm ポンプ接続口径 エアー接続口径 周囲温度 ℃ 駆動方式
ウェハー洗浄用エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-品番-FA-2E-1

FA-2E-1

要見積もり

2

0.2~0.4

5~100

50

Max.150

Rc1/8

Rc1/4

0~40

近接スイッチ方式

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.5

会社概要

入江株式会社は、東京都中央区に本社を置く、製造機械、製造消耗品、測定・検査機器などを販売する、科学技術専門の商社である。 基礎研究分野、大学、半導体エネルギー・液晶産業、二次電池・太陽電池などの新エネルギー、医療・医薬品...

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  • 本社所在地: 東京都
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