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接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300-SURFTENS WH 300
接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300-入江株式会社

接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300
入江株式会社

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この製品について

■SURFTENS WH 300

SURFTENS WH 300は、半導体技術における200mmおよび300mm のウェハー処理におけるプロフェッショナル向けの主要な装置。SURFTENS WH 300には、3軸ウェハーロボット、ウェハースキャナー、200または300mmウェハー用ロードポート、ファンフィルターユニット、ノッチングシステムが装備されています。 あらゆるクリーンルームクラスに適しており、最大25枚のウェハーの接触角を自動マッピングする機能を備えています。 新機能:SECS/GEMインターフェイス搭載 SURFTENS WH 300 は、3軸ウェハー搬送ロボット、300mmウェハー用ロードポートを搭載した全自動接触角測定装置で、300mmウェハー技術で要求されるあらゆる機能を備えています。 2020年以降、SECS / GEMインターフェイスが実装されました。SECS / GEMインターフェースは、セミスタンダードE30、E84 / 87、E90、E40、E94をサポートし、制御ジョブ、プロセスジョブ、基板トラッキング、キャリア管理、OHT接続を可能にします。

■ソフトウェア概要

・3つのユーザーレベル ・ネットワークインターフェースカード経由でSPCに接続 ・オペレーティングシステム Windows XP/ 7 ・ロードポート自動認識 ・スロット占有率の自動認識 ・特定のロードポートに割り当てられた自動測定レシピ (異なるウェハーサイズ間のレシピの混在を回避) ・スロットの完全性を保証 ・測定前のノッチ加工 ・測定データはローカルディスクに保存 (ネットワークサーバー上のバックアップストレージは、お客様によって構築) ・LAN対応 ・オフィスPCで結果評価ができるクライアントソフトウェアが同梱 ・手動操作モード (ジョイスティック)

■測定概要

・自動、電動投与および投与システム ・10mlシリンジ (脱イオン水 (純水) 用) ・シリンジ自動補充機能付き脱イオン水 (純水) タンク ・プログラム可能な液滴サイズ ・ウェハー上の自動投与、投与位置はプログラム可能 ・第二液を用いた測定が可能なシステム ・画像 ウェハーロボットと投与システムを示すセットアップ内のツール

■測定

ツール/ソフトウェアは自由に定義可能な測定マップをサポート

  • シリーズ

    接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300

企業レビュー 4.8

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早急に対応して頂いて良かった。今後も利用したいと、おもった

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全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

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接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300 品番1件

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SURFTENS WH 300

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特殊機能: 自動滴下型

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使用用途

#濡れ性評価 #表面処理評価 #コーティング評価 #接着性評価 #洗浄効果確認 #インク付着評価 #撥水性評価

測定方式

静滴法 動滴法 キャピラリ法

光学方式

画像解析型 反射干渉型

対象材料

固体表面型 粉体層型 多孔質体型

特殊機能

傾斜測定型 温度制御型 表面エネルギー算出型 自動滴下型

測定機能

静的接触角 動的接触角測定

測定対象

板状試料 ウエハ 微細試料 大型基板 平板状 円柱状

操作性

全自動測定 自動測定 手動

接触角測定範囲 °

0 - 10 10 - 100 100 - 200

カメラ 万画素

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 6,000

ステージサイズ mm

0 - 200 200 - 400

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

入江株式会社は、東京都中央区に本社を置く、製造機械、製造消耗品、測定・検査機器などを販売する、科学技術専門の商社である。
基礎研究分野、大学、半導体エネルギー・液晶産業、二次電池・太陽電池などの新エネルギー、医療...

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  • 本社所在地: 東京都
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