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接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300-SURFTENS WH 300
接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300-入江株式会社

接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300
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■SURFTENS WH 300

SURFTENS WH 300は、半導体技術における200mmおよび300mm のウェハー処理におけるプロフェッショナル向けの主要な装置。SURFTENS WH 300には、3軸ウェハーロボット、ウェハースキャナー、200または300mmウェハー用ロードポート、ファンフィルターユニット、ノッチングシステムが装備されています。 あらゆるクリーンルームクラスに適しており、最大25枚のウェハーの接触角を自動マッピングする機能を備えています。 新機能：SECS/GEMインターフェイス搭載 SURFTENS WH 300 は、3軸ウェハー搬送ロボット、300mmウェハー用ロードポートを搭載した全自動接触角測定装置で、300mmウェハー技術で要求されるあらゆる機能を備えています。 2020年以降、SECS / GEMインターフェイスが実装されました。SECS / GEMインターフェースは、セミスタンダードE30、E84 / 87、E90、E40、E94をサポートし、制御ジョブ、プロセスジョブ、基板トラッキング、キャリア管理、OHT接続を可能にします。

■ソフトウェア概要

・3つのユーザーレベル ・ネットワークインターフェースカード経由でSPCに接続 ・オペレーティングシステム Windows XP/ 7 ・ロードポート自動認識 ・スロット占有率の自動認識 ・特定のロードポートに割り当てられた自動測定レシピ (異なるウェハーサイズ間のレシピの混在を回避) ・スロットの完全性を保証 ・測定前のノッチ加工 ・測定データはローカルディスクに保存 (ネットワークサーバー上のバックアップストレージは、お客様によって構築) ・LAN対応 ・オフィスPCで結果評価ができるクライアントソフトウェアが同梱 ・手動操作モード (ジョイスティック)

■測定概要

・自動、電動投与および投与システム ・10mlシリンジ (脱イオン水 (純水) 用) ・シリンジ自動補充機能付き脱イオン水 (純水) タンク ・プログラム可能な液滴サイズ ・ウェハー上の自動投与、投与位置はプログラム可能 ・第二液を用いた測定が可能なシステム ・画像 ウェハーロボットと投与システムを示すセットアップ内のツール

■測定

ツール/ソフトウェアは自由に定義可能な測定マップをサポート

  • シリーズ

    接触角 表面張力計測機器 OEG SURFTENS WH 300

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