接触角表面張力計測機器 OEG SURFTENS automatic-SURFTENS automatic

接触角表面張力計測機器 OEG SURFTENS automatic
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この製品について

■SURFTENS automatic電動ポンプ、自動滴下、電動試料テーブル (200 x 200) mm を備えた接触角および表面自由エネルギーの自動測定装置

■特徴接触角測定システムSURFTENS automaticは、半導体産業および研究、特にウェハーコーティングのプロセス制御およびフォトリソグラフィープロセスでの使用を目的として設計されています。 ガラス基板やホイルなどの平板形状のあらゆる試料に適しています。 測定範囲は200×200mmです。
・全自動接触角マッピング
・省スペース設計
・自動サンプル位置決め用電動X / Yステージ
・電動自動投与ユニット
・自由に定義可能な測定テンプレート
・表面自由エネルギーの計算モジュールが含まれたソフトウェア
・大量検査向け高精度投与ユニット

■アプリケーション半導体技術で使用される基板や層の表面自由エネルギーや濡れ挙動は、接触角測定によって求めることができます。接触角を測定することで、新しいプロセスステップを迅速に最適化し、既知のプロセスをより良く標準化することができます。ウェハーの表面特性の小さな変化は、接触角の大きな変化として容易に検出されます。したがって、接触角測定は、多くの半導体製造工場における標準的なプロセス制御の方法として位置づけられています。

■ビデオ式自動接触角測定装置クリーンルーム条件下での固体 (フラットパネルディスプレイ用のウェハーやガラス基板など) の濡れ挙動を全自動で測定する接触角測定装置です。連続テストや系統的分析にも使用できます。SURFTENS automaticは、研究、品質、製造検査における接触角測定にかかる主観的要因や時間の削減を可能にします。

■ソフトウェア制御による測定と分析・固体表面の濡れ挙動
・液滴法による静的および動的接触角の測定
・液液滴からの表面張力と界面張力の計算
・Wuの理論による固体とその成分の表面自由エネルギーの計算

■基本装置と技術装置の構成・垂直・水平位置決め可能なシングルニードルのサポート
・全自動で正確な試料位置決めを行う測定ステージ
・テレセントリック測定レンズ
・高解像度CCDカメラ付きビデオ測定システム
・均一な背面照明のための連続調整可能な照明