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エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー-エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー
エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー-株式会社エキシマ

エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー
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この製品について

｢濡れ性｣｢密着性｣｢均一性｣｢正常｣｢分解｣などの目的に波長172nmの紫外線による表面改質等の用途に貢献します。シンプルな製品と豊富な経験に基づく信頼性の高い製品をご提案いたします。 真空チャンバービューポートへICF114フランジで簡単に取り付け可能です。空冷方式のエキシマランプによるシンプルなシステム構造で低コスト高性能を実現。瞬時ON、OFFが可能。

■特長

・真空チャンバー内の静電気問題対策等 ・Roll to Roll フィルム帯電対策 ・ウェハー等、静電チャックの吸着、搬送対策 ・帯電による異物の吸着対策 ・電子顕微鏡の帯電対策 ・帯電に伴う膜厚均一性、ピンホール対策

  • シリーズ

    エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー

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エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 波長 真空フランジポート 冷却方式 光源部サイズ 電源サイズ 電源 ガス ケーブル長 ( ランプ～電源) 環境仕様 機能
エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー-品番-エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー

エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー

要見積もり

172 nm

ICF114 (JISフランジ対応可)

空冷

W300 x H157 x D180 mm

W250 x H133 x D200 mm

AC100V 50/60Hz 2A アース端子付

N2

0.5M

温度 15-30℃、湿度 20-80%、結露及び腐食、振動環境条件で無きこと。

ランプ点灯、消灯

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入力電圧

0 - 20 V 20 - 50 V 50 - 100 V

イオン発生方式

直流コロナ放電 交流/高周波コロナ放電 パルスDC方式 コロナ放電 SMD方式

オゾン濃度

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

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0 - 1 ㎥/分 1 - 2 ㎥/分 2 - 3 ㎥/分 3 - 4 ㎥/分

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0 - 100 mm 100 - 200 mm 200 - 300 mm 300 - 1000 mm 1000 - 2000 mm

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会社概要

株式会社エキシマは、2007年に設立された計測器の製造を行う企業です。 接触角計測器の製造及び販売を主な事業とするほか、オゾン分解ユニットや紫外線空気清浄機の製造及び販売なども事業内容としており、開発製造から販売修理ま...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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