エキシマ光処理システム真空用エキシマUVシステムエキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー-エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー

エキシマ光処理システム真空用エキシマUVシステムエキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー
株式会社エキシマ

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この製品について

｢濡れ性｣｢密着性｣｢均一性｣｢正常｣｢分解｣などの目的に波長172nmの紫外線による表面改質等の用途に貢献します。シンプルな製品と豊富な経験に基づく信頼性の高い製品をご提案いたします。

真空チャンバービューポートへICF114フランジで簡単に取り付け可能です。空冷方式のエキシマランプによるシンプルなシステム構造で低コスト高性能を実現。瞬時ON、OFFが可能。

■特長・真空チャンバー内の静電気問題対策等
・Roll to Roll フィルム帯電対策
・ウェハー等、静電チャックの吸着、搬送対策
・帯電による異物の吸着対策
・電子顕微鏡の帯電対策
・帯電に伴う膜厚均一性、ピンホール対策

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
エキシマ光処理システム真空用エキシマUVシステムエキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー

取扱企業
株式会社エキシマ

カテゴリ

電磁波対策

イオナイザ

光源

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エキシマ光処理システム真空用エキシマUVシステムエキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	波長	真空フランジポート	冷却方式	光源部サイズ	電源サイズ	電源	ガス	ケーブル長 ( ランプ～電源)	環境仕様	機能
	エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー	要見積もり	172 nm	ICF114 (JISフランジ対応可)	空冷	W300 x H157 x D180 mm	W250 x H133 x D200 mm	AC100V 50/60Hz 2A アース端子付	N2	0.5M	温度 15-30℃、湿度 20-80%、結露及び腐食、振動環境条件で無きこと。	ランプ点灯、消灯