エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー
株式会社エキシマ
この製品について
■特長
・真空チャンバー内の静電気問題対策等 ・Roll to Roll フィルム帯電対策 ・ウェハー等、静電チャックの吸着、搬送対策 ・帯電による異物の吸着対策 ・電子顕微鏡の帯電対策 ・帯電に伴う膜厚均一性、ピンホール対策-
シリーズ
エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー
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取扱企業
株式会社エキシマ
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エキシマ光処理システム 真空用エキシマUVシステム エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 波長 | 真空フランジポート | 冷却方式 | 光源部サイズ | 電源サイズ | 電源 | ガス | ケーブル長 ( ランプ～電源) | 環境仕様 | 機能 |
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エキシマ真空用光源およびエキシマ真空除電イオナイザー |
要見積もり | 172 nm | ICF114 (JISフランジ対応可) | 空冷 | W300 x H157 x D180 mm | W250 x H133 x D200 mm | AC100V 50/60Hz 2A アース端子付 | N2 | 0.5M | 温度 15-30℃、湿度 20-80%、結露及び腐食、振動環境条件で無きこと。 | ランプ点灯、消灯 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
