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真空チャンバの製品27点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | エキシマ光源波長 | チャンバー | 基板位置調整機構 | 真空排気系 | 真空計 | 本体、架台 | 冷却 | 電源 | 外形寸法 (真空ポンプ含まず) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
真空チャンバーエキシマUVシステム |
要見積もり |
172 nm |
SUS製 受注生産品 |
0-100mm 1mm単位 |
ロータリーポンプ+オイルミストトラップ |
ピラニー真空計 |
キャスター、アジャスター付 |
空冷 |
1φ AC100V 50/60Hz |
受注生産品 |
