エキシマ光処理システムコンパクトエキシマUV172nm光源 E500-172-160-E500-172-160

エキシマ光処理システムコンパクトエキシマUV172nm光源 E500-172-160
株式会社エキシマ

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この製品について

｢濡れ性｣｢密着性｣｢均一性｣｢正常｣｢分解｣などの目的に波長172nmの紫外線による表面改質等の用途に貢献します。シンプルな製品と豊富な経験に基づく信頼性の高い製品をご提案いたします。

6”ウェハ＆マスク基板対応ランプです。特長はシンプルかつコンパクトな構成、信頼性の高い空冷式、ランプ管交換不要長寿命エキシマランプ。電源はAC100V。

■長寿命空冷エキシマランプ。ランプ管交換不要本来、エキシマUVランプはバルブ内に電極を有さない構造なので理論上では長寿命ランプとされ、海外ではpermanent Excimer lampと表記されている場合もあります。しかしながら昨今の高照度を追求するエキシマランプは管材の軽薄化、菅温度の上昇、紫外エネルギーに伴うガラスのひずみ等に伴いランプ寿命はコスト高となる短寿命化の傾向があります。

長年の現場での経験と実績に基づき株式会社エキシマの空冷コンパクトエキシマランプはメンテナンスとして外部電極と高圧ケーブルや高圧部品の定期交換は必要ですが高価なランプ管本体は交換不要です。低コスト高信頼性を実現いたしました。