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Ｘ線結晶方向測定装置 DX-7BG-DX-7BG
Ｘ線結晶方向測定装置 DX-7BG-株式会社オーエステック

Ｘ線結晶方向測定装置 DX-7BG
株式会社オーエステック

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この製品について

単結晶の Wafer 及び Ingot の結晶方位検査を目的別に行う検査装置です。その為、二つの作業台 (Wafer 面測定・オリフラ面測定・ノッチ方位測定 /Ingot 端面) を備えています。 測定可能サイズは、Wafer: Dia 2～8インチ、Ingot: Dia2～8インチ / 最大長さ 300mm

■測定

試料を試料台のジグに固定 (手動) 設置後、測定開始ボタンを押すとゴニオメータが走査して、X線回折線強度を計測、その最強位置のピーク位置の角度を表示します。1回の測定時間は約5秒です。角度の表示は「度分秒」です。

■測定前準備

・試料結晶の測定格子面と、その回折X線角度 (測定角度θ) の決定 ・標準試料により設定補正 ・想定オフセット角の設定 (ω走査角度範囲の設定) ・試料結晶位置決めジグの設定 (結晶サイズごとに設定) 装置の仕様

■Ｘ線発生部

・管電圧：30KV (1点プリセット式) ・管電流：1mA (1点プリセット式) ・X線管：Cu 空冷式 安全保安回路付き

■Ｘ線光学系

・θー2θ走査ゴニオメータ ・Ｘ線焦点 - スリットー試料 - 検出器 200 ～300mm ・設置角度 (θ/2θ) ≦90°半固定 測定走査角度設定範囲 －5°から 60°の間。

■Ｘ線検出・計測部

・検出器 ・測定操作：測定 スタート／ストップ釦 ・測定結果表示：ピーク位置角度エンコーダー デジタル表示

■Ｘ線窓シャッター

測定 スタート／ストップ釦と連動

■防Ｘ線カバー

Ｘ線窓開閉 フエ―ルセーフ連動

■設置設備条件

・電源：単相 220V±10％ 300W1個 ・接地接地抵抗100Ω以下

  • シリーズ

    Ｘ線結晶方向測定装置 DX-7BG

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社オーエステック

会社概要

株式会社オーエステックは、商社です。 1992年に設立、大阪に本社をおく電子部品の製造に使用する材料を取り扱う専門商社です。主な事業内容としては、半導体に関する材料やスマートフォンやPC、冷蔵庫やエアコンなどに使用され...

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