AlNセラミックス部品 FAN-170
株式会社オーエステック

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この製品について

半導体製造装置 (前工程用) は、デザインルール微細化 (0.18μm以下) と ウェーハ大口径化 (φ300mm以上) への対応が求められています。それには、装置を構成する部品の材料の選定が極めて重要となります。

窒化アルミニウム (AlN) は、熱伝導性･熱放射性 (放熱) 、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、 Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。当社はこれらの特性を生かした半導体製造装置用AlN部品を用意しております。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
AlNセラミックス部品 FAN-170

取扱企業
株式会社オーエステック

カテゴリ

半導体製造

半導体パッケージ

無機・鉱物素材

ファインセラミックス

化学物質

窒化アルミニウム

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AlNセラミックス部品 FAN-170 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	熱伝導率 W/m·K (RT)	熱放射率 (100℃)	熱膨張係数 10^-6/℃ (RT～400℃)	絶縁抵抗 Ω·cm (RT)	絶縁耐圧 kV/mm (RT)	誘電率 (1MHz)	誘電体損失 10^-4 (1MHz)	曲げ強度 kgf/mm2	密度 g/cm3	Y %	O %	金属不純物 ppm	特徴
	FAN-170	要見積もり	170	0.93	4.5	>1013	15	8.8	5	35	3.32	3.5	1.5	<50	汎用

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社オーエステック

会社概要

株式会社オーエステックは、商社です。 1992年に設立、大阪に本社をおく電子部品の製造に使用する材料を取り扱う専門商社です。主な事業内容としては、半導体に関する材料やスマートフォンやPC、冷蔵庫やエアコンなどに使用され...

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本社所在地: 大阪府

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