AlNセラミックス部品 FAN-170
株式会社オーエステック
この製品について
半導体製造装置 (前工程用) は、デザインルール微細化 (0.18μm以下) と ウェーハ大口径化 (φ300mm以上) への対応が求められています。それには、装置を構成する部品の材料の選定が極めて重要となります。
窒化アルミニウム (AlN) は、熱伝導性･熱放射性 (放熱) 、耐熱衝撃性、電気絶縁性に優れ、 Siウェーハにマッチした熱膨張をもつ、特性のバランスの良い材料です。当社はこれらの特性を生かした半導体製造装置用AlN部品を用意しております。
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シリーズ
AlNセラミックス部品 FAN-170
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取扱企業
株式会社オーエステック
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カテゴリ
AlNセラミックス部品 FAN-170 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 熱伝導率 W/m·K (RT) | 熱放射率 (100℃) | 熱膨張係数 10^-6/℃ (RT～400℃) | 絶縁抵抗 Ω·cm (RT) | 絶縁耐圧 kV/mm (RT) | 誘電率 (1MHz) | 誘電体損失 10^-4 (1MHz) | 曲げ強度 kgf/mm2 | 密度 g/cm3 | Y % | O % | 金属不純物 ppm | 特徴 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FAN-170 |
要見積もり | 170 | 0.93 | 4.5 | >1013 | 15 | 8.8 | 5 | 35 | 3.32 | 3.5 | 1.5 | <50 | 汎用 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
