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電源部 ・マイクロ波発振器 (プラズマ励起用) ・水冷式インバータ電源 ・プラズマ励起用低出力リップル ・電源部と発振部はセパレートタイプ ・RoHS対応 製品構成 電源部/発振部/電源ケーブル/高圧ケーブル/低圧ケーブル 付属品/取扱説明書 ※ケーブル3種の長さは各7m (標準) ※出力電力定格には、アイソレータなどの挿入損失は含まれておりません。 ※TBR-2A2とは、東芝社独自の導波管フランジ規格です。 ※製品改良のため、仕様は予告無く変更する場合があります。 出力制御方式 フロントパネルのスイッチにて、下記1・2のいずれかのモードを選択 1.入射電力値をフィードバックした補正制御※.方向性結合器が必要 2.入力電力制御 保護機能 ・ファン故障、オーバーヒート ・内部インバータ電流/電圧オーバーパネルオープン ・外部インターロック、ヒータ断線、入力電圧オーバー ・外部インターフェース ・リモートコントロール用のI/Fコネクタを付属
入力電源
三相 190V ~ 220V 50 / 60Hz
入力容量
7 KVA 以下
出力安定度
190V ~ 220 Vの入力変動に対し、± 2%以内 (3kW 出力時)
冷却方式
水冷
使用環境 (結露無きこと)
0~40℃
発振周波数
2455MHz ±20MHz
出力電力定格
500W ~ 3000W 連続可変 ※マッチング負荷
型番
MPS-30W-DC取扱企業
株式会社ニッシンカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 入力電源 | 入力容量 | 出力安定度 | 冷却方式 | 外形寸法 (mm) | 重量 | 使用環境 (結露無きこと) |
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要見積もり | 三相 190V ~ 220V 50 / 60Hz | 7 KVA 以下 | 190V ~ 220 Vの入力変動に対し、± 2%以内 (3kW 出力時) | 水冷 | W480 × D503 × H300 ※突起物含まず | 40kg以下 | 0~40℃ |
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冷却方式が水冷の製品
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定格出力 W
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000発振周波数 MHz
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000出力電力定格 W
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000冷却方式
空冷 水冷出力安定度 %
1 2使用環境 ℃
0 - 10 10 - 30 30 - 40