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電源部 ・2450MHz/1700Wマイクロ波発振器 (プラズマ励起用) ・プラズマ励起用インバータ電源 ・低リップルな出力 ・電源部と発振部はセパレートタイプ ・電源部、発振部ともに完全空冷式 製品構成 電源部/発振部/ケーブル/付属品/取扱説明書 ※出力電力にアイソレータなどの挿入損失は含まれておりません。 ※製品改良のため、仕様は予告無く変更する場合があります。 出力制御方式 入射電力値をフィードバックした補正制御 (要パワーモニタ) 入力電力制御のいずれかを選択可能 保護機能 ファン故障、オーバーヒート、内部インバータ電流/電圧オーバー、外部インターロック、マグネトロンヒータ断線 外部インターフェース リモートコントロール用のI/Fコネクタを付属
入力電源
3相190V~220V 50 / 60Hz
入力容量
4.5KVA以下
出力安定度
入力変動 190~220Vに対し± 2%以内 (1.7kW出力時)
冷却方式
強制空冷
使用環境 (結露無きこと)
0~40℃
発振周波数
2455MHz ±20MHz
出力電力定格
200~1700W 連続可変 (マッチング負荷)
連続出力定格
1700W
型番
MPS-17A取扱企業
株式会社ニッシンカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 入力電源 | 入力容量 | 出力安定度 | 冷却方式 | 外形寸法 (mm) | 重量 | 使用環境 (結露無きこと) |
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要見積もり | 3相190V~220V 50 / 60Hz | 4.5KVA以下 | 入力変動 190~220Vに対し± 2%以内 (1.7kW出力時) | 強制空冷 | W480 × D450 × H169 ※突起物含まず | 25Kg以下 | 0~40℃ |
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使用用途
#誘導加熱 #プラズマ生成 #実験研究 #真空装置 #半導体製造 #表面処理 #ディスプレイ製造 #材料評価定格出力 W
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 30,000発振周波数 MHz
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,000出力電力定格 W
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 6,000冷却方式
空冷 水冷出力安定度 %
1 2使用環境 ℃
0 - 10 10 - 30 30 - 40