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超低温・電気ダメージレスの大気圧プラズマ装置 Tough Plasmaシリーズの中でも非常に低温で被処理物に熱ダメージを与えない製品です。 薄い樹脂材を使用するカテーテルなどの医療機器への採用実績が多数あります。また、電気ダメージレスのため、精密機器・半導体への表面改質にもおすすめです。 適用アプリケーション カテーテル、レンズ、アンダーフィル、電子基板、HDDモーター、釣り糸、マイクロ流体デバイス 1.超低温処理 熱に弱い材料でも安心! Tough Plasmaシリーズの中で最も照射ガス温度が低く、薄い樹脂材を使用する医療用機器にも安心してご利用頂けます。 プラズマガス温度について プラズマガス温度はプラズマヘッドを固定し、照射し続けた時のサチュレート温度(最大温度)です 実際に使用する際は、お客様の工程に合わせ数百mm/sの速度で照射しますので、グラフの温度よりも非常に低くなります 2.電気ダメージレス 電子基板・電子部品に対しても利用可能! 中性なラジカル粒子のみを照射しているため、電気的なダメージを与えることなくプラズマ処理が可能です。 電気ダメージを気にする精密機器・半導体への表面改質にも利用可能です。 3.マルチヘッド対応 拡張装置追加で最大4台の処理ヘッドを稼働可能! マルチヘッド対応のため、処理物に対して複数台の処理が可能です。
プロセスガス/流量/エアー
20ml/min
プロセスガス/流量/窒素
5L/min
先端ノズル/スポットノズル
φ5mm,φ1.6mm
先端ノズル/幅広ノズル
20mm
寸法(L×W×H)/コントローラー
215.2×380.2×178.6mm
寸法(L×W×H)/ヘッド
60×50×150mm
消費電力
200W
質量/コントローラー
11.5kg
質量/ヘッド
0.5kg
質量/駆動電源
1.5kg
電源
AC100V (50/60Hz)
型番
FPB20取扱企業
株式会社FUJIカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | プロセスガス/流量/エアー | プロセスガス/流量/窒素 | 先端ノズル/スポットノズル | 先端ノズル/幅広ノズル | 寸法(L×W×H)/コントローラー | 寸法(L×W×H)/ヘッド | 消費電力 | 質量/コントローラー | 質量/ヘッド | 質量/駆動電源 | 電源 |
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要見積もり | 20ml/min | 5L/min | φ5mm,φ1.6mm | 20mm | 215.2×380.2×178.6mm | 60×50×150mm | 200W | 11.5kg | 0.5kg | 1.5kg | AC100V (50/60Hz) |
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